MIYUKI美幸辉 气动真空排气 / 破空阀
IV/IP 是美幸辉专用真空腔体微量缓破空阀（气体导入阀），功能为真空腔体缓慢通入大气恢复常压，内置 4 固定限流小孔，实现匀速柔和破空，避免气流冲击扬尘、工件飞溅、膜层损伤；配套旋片泵、镀膜、真空清洗设备，和 AE/ABR 大通流 L 型隔断阀功能区分明显。

一、产品定位

• IV 系列：常开型（NO）：无驱动气源时阀门自动打开、持续破空；通气供气时关闭隔绝大气

• IP 系列：常闭型（NC）：无驱动气源时阀门保持关闭、锁死腔体真空；通气供气时开启进气破空

二、型号命名规则

1. 系列区分核心

• IV = Normal Open 常开破空阀（断气自动泄压）

• IP = Normal Close 常闭破空阀（断气保真空）

2. 后缀法兰代码

• P15：Φ15 仪表螺纹口，适配真空计、小型测压端口

• NXX：KF/NW 快拆卡箍法兰（N25=NW25/KF25）

• FXX：ISO-F 方形法兰（F38=ISO-F38）

完整型号示例

三、基础统一技术参数（IV/IP 通用）

四、IV（常开型）详细说明

工作逻辑

适配场景

1. 油式旋片真空泵配套：设备停机断气源，阀门自动打开向泵侧缓慢泄压，防止泵油压差倒灌污染腔体，替代 PER 电磁防返油阀的气动方案；

2. 简易实验室真空舱、小型真空脱泡设备；

3. 无安全真空锁止要求，停机必须自动泄压的设备。

代表型号：IV-P15（仪表口）、IV-N25（KF25 法兰）

五、IP（常闭型）详细说明

工作逻辑

适配场景（工艺优先选 IP）

1. 光学镀膜、晶圆制程精密腔体：停电 / 断气时严禁自动破真空，防止粉尘、水汽污染工件；

2. 全自动量产真空设备，仅 PLC 指令触发才执行破空工序；

3. 氦检检漏设备、高纯气体真空管路，需要稳定锁止真空。

代表型号：IP-N25（KF25）、IP-F38（ISO-F38 方形法兰）

六、IV 与 IP 核心选型对比

七、IV/IP 破空阀 VS AEH 可调 L 阀 功能区分

1. IV/IP：单一微量破空，仅 Φ4 固定小孔，无抽气功能，只做大气导入；

2. AEH 三位置 L 阀：可全关 / 小开度预抽 / 全开，同时具备抽真空 + 分段破空双功能，通流大，适合腔体主管路；

3. 搭配方案：主管路用 AE/AER 隔断阀，旁路加装 IV/IP 做专用缓破空，分工明确、控制稳定。

八、适用行业场景

推荐使用

1. 光学小型蒸镀、磁控溅射设备腔体旁路破空；

2. 半导体检测、氦质谱检漏系统；

3. 油旋片泵真空机组防油倒灌配套；

4. 锂电真空清洗、小型真空烧结、脱泡设备；

5. 实验室教学真空舱、材料试验腔体。

不适用场景

1. 超高真空 10⁻⁶Pa 以下、200℃高温烘烤腔体（需波纹管 ABR 系列）；

2. 需要大通流抽气、分段预抽工艺（选用 AEH 可调阀）；

3. 大流量快速破空工况（需搭配大通径 L 阀旁路）。