MIYUKI美幸辉 L 型电磁驱动真空阀
PER 是电磁直驱 L 型真空角阀，专为油式旋片真空泵配套，核心作用：停机防真空泵油倒灌污染真空腔体

一、产品定位

• PER：电磁驱动防返流 L 阀

• N：KF (NW) 快拆卡箍法兰

• 数字：公称通径 25A (NW25)、40A (NW40)（全系仅 2 个口径）

二、核心工作原理

1. 泵运行（线圈通电）

   电磁线圈吸合阀芯，阀门全开，腔体→真空泵正常抽气；内部微破空机构锁止，无空气倒灌腔体。

2. 泵停机（线圈断电）

   弹簧复位快速切断腔体与泵管路；内置延时泄压结构：先向真空泵侧缓慢通入大气，泵腔升压、阻止油被压差吸入腔体；腔体侧全程保持真空，不泄压、不进气。

3. 控制逻辑：电磁阀与真空泵电源同步联动，无需额外 PLC 逻辑，接线简单。

三、四大核心特性

1. 免气源电磁驱动

   不依赖 0.4~0.6MPa 压缩空气，只有供电就能控制，小型实验室、桌面式镀膜机优选；电压可选 DC24V、AC100V、AC200V。

2. 一体式内置微破空泄压阀

   集成慢放气结构，不用额外加装独立破空阀，简化管路布局、减少接头泄漏点。

3. 延时防倒灌保护

   内部时序机构保证：先给泵侧通大气，再关闭腔体通路，杜绝旋片泵停机负压吸油污染镜片、晶圆、工件。

4. KF 标准快装法兰

   NW25/NW40 通用卡箍连接，拆装检修便捷，可直接替换同口径日系 / 国产 KF 真空阀。