MIYUKI美幸辉 三位置可调气动 L 型真空阀
AEH 属于AE 经济型 O 圈密封 L 阀衍生款，是全系具备三位置中途节流功能的直角真空阀

一、品牌与产品定位

型号命名规则（示例：AEH-N25）

1. AEH

   AE=FKM O 型圈轴封经济型 L 阀；H=Hold 中途限位 / 可调节流功能

2. 法兰后缀

• N：KF (NW) 快拆卡箍法兰（AEH 仅提供 KF 法兰，无 JIS/CF 大口径）

3. 数字：公称通径，仅覆盖16A/25A/40A/50A（最大 DN50，无 80A 以上大口径）

二、核心结构与材质

1. 阀体：SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，90°L 型平滑流道，双向承压、任意角度安装

2. 轴封系统（同 AE/AER）

   阀杆动密封采用FKM 氟橡胶 O 圈，无金属波纹管；结构简单、维保便宜，但阀杆往复摩擦会微量析出粉尘，放气高于 AB/ABR 波纹管系列

3. 气缸核心差异化结构

   气缸上下两端带可调限位螺丝，可机械锁定三个位置：全关→中间节流开度→全开；内置缓冲减震，开关冲击小

4. 阀座密封：FKM 氟橡胶，耐水汽、常规镀膜工艺气体

三、关键技术参数

四、AEH 核心优势

1. 三档位机械限位，可控缓抽 / 缓破空

   可手动调节中间节流开口大小：

• 抽真空阶段：停在小开度缓慢预抽，防止气流扬尘污染晶圆、光学膜、粉体工件；

• 破空泄压阶段：中途缓慢进气，避免气压冲击导致工件移位、腔体粉尘飞扬；

  普通 AE/AER 只能全开直抽、直放，极易造成腔体污染。

2. 管路简化，降低设备成本

   无需额外加装小型微调破空阀，单台 AEH 同时承担切断 + 节流调压功能，减少阀件、电磁阀、管路接头。

3. 经济型 O 圈结构，维护简单

   无波纹管精密焊接件，采购价远低于 ABR；仅 FKM 密封圈为易损件，现场快速更换。

4. KF 快装法兰，拆装便捷

   全系标配 NW 卡箍法兰，实验室、小型镀膜机管路通用，检修拆卸无需打孔改管路。

五、适用行业与工况（优先选用 AEH）

1. 中小型光学镀膜设备

   小型蒸镀、溅射腔体预抽 + 破空阀，保护光学镜片、ITO 薄膜不被气流冲污；

2. 实验室真空腔体、氦检小型试验舱

   需要分段调压、缓慢恢复大气压的科研装置；

3. 锂电小型真空烧结、真空清洗设备

   粉体原料腔体，防止破空扬尘污染物料；

4. 干式泵粗抽旁路、小型真空包装机

   需要柔和抽放气、避免工件飞溅的自动化设备。

不适用场景（不可选 AEH）

1. 半导体晶圆制程、高纯特种气体管路（O 圈析出粉尘，需 ABR 波纹管）；

2. 需要 200℃高温烘烤除气的腔体；

3. 超高真空（10⁻⁶Pa 以下）工况；

4. DN80 及以上大口径主抽隔断阀（AEH 最大仅 DN50）。