MIYUKI美幸辉 ABR气动L型高真空波纹管角阀
ABR 是AB 基础波纹管系列升级款，属于内置气缸缓冲 + 316L 金属波纹管轴封的 90; 直角 L 型真空隔断阀，兼顾超高真空洁净度与长效耐用性，是半导体、光学镀膜高温腔体优选阀款。

一、品牌与产品定位

• AB：金属波纹管、无气缸缓冲；

• ABR：金属波纹管、气缸自带缓冲减震（R=Relief 缓冲结构）；

• AE/AER：FKM O 圈轴封经济型，无波纹管，仅中真空使用。

二、型号分段释义（示例：ABR-J50）

1. ABR

   A=L 型角阀；B = 金属波纹管轴封；R = 气缸内置气垫缓冲机构

2. 法兰后缀

• N：KF (NW) 快拆卡箍法兰，拆装便捷；

• J：JIS 日标螺栓法兰，日系镀膜机、真空炉原装标配；

• C：CF 刀口无氧铜金属密封法兰，超高真空氦检、长期烘烤场景；

3. 数字：公称通径 16A~250A（DN16~DN250）

三、核心结构与材质

1. 阀体：SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光，低放气、无积尘死角，无尘车间装配氦检；

2. 轴封核心（区别 AE）

   SUS316L 多层焊接金属波纹管，隔离真空腔体与大气侧；无往复摩擦橡胶轴封，零微粒析出、极低有机挥发；

3. 阀座密封：FKM 氟橡胶，耐水汽、常规酸碱、镀膜工艺气体；

4. 执行气缸：铝合金气动气缸，两端内置气垫缓冲，开关减速减震；

5. 波纹管：全金属焊接，无易损 O 型轴封，长期高真空无外泄。

四、关键技术参数

1. 真空性能

• 工作区间：大气压～10⁻⁷ Pa 超高真空；

• 整机外漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；

• 双向承压：真空侧 / 大气侧压差均可可靠密封，任意角度安装。

2. 温度耐受

• 阀体最高烘烤温度：200℃（支持腔体整体高温除气，AE 系列仅 150℃）；

• 选配磁感应开关环境上限 70℃，不可高温烘烤气缸部位。

3. 气动驱动

• 驱动气源：0.4~0.6MPa 洁净干燥压缩空气；

• 16A~50A：单作用弹簧复位（常开 / 常闭可选）、双作用气缸；

• 80A~250A：仅双作用气缸；

• 缓冲特性：气缸行程两端气垫缓冲，大幅降低阀座冲击噪音，延长密封寿命。

4. 使用寿命

• 16A~50A 小口径：≥50 万次启闭；

• 80A~250A 中大口径：≥10 万次启闭；

  波纹管动密封终身无需更换，仅阀座 FKM 为常规易损件。

5. 可选配件

五、ABR 核心优势（对比 AB、AER）

1. 金属波纹管洁净密封

   无橡胶轴封摩擦，不产生粉尘、低放气，适配晶圆、光学膜等高洁净制程，杜绝腔体污染；

2. 内置气缸缓冲（ABR ）

   开关动作柔和*，减少阀座撞击损耗，相比无缓冲 AB 系列，密封使用寿命提升 40% 以上，适合高频连续自动化产线；

3. 200℃高温烘烤能力

   可配合腔体高温除气，适配长期高真空、高纯工艺工况；O 圈款 AER 不支持高温烘烤；

4. L 型大流通流道

   直角平滑内腔，气流阻力极低，抽气速率更快，缩短腔体预抽时间，提升设备稼动；

5. 多法兰标准全覆盖

   KF 快拆、JIS 日标、CF 金属法兰可选，日系进口设备、国产真空机组、实验室腔体均可直接替换原装阀门。

六、适用行业与工况（优先选 ABR）

1. 光学 / ITO 镀膜设备

   PVD 磁控溅射、电子束蒸镀主抽阀、分子泵前端隔断阀（高频开关，缓冲减少震动损伤膜层）；

2. 半导体制造

   PECVD、刻蚀、晶圆镀膜腔体、氦质谱检漏系统、高纯特种气体管路；

3. 高温真空热处理

   锂电固态电池烧结炉、真空钎焊炉、材料高温试验舱（需 200℃烘烤腔体）；

4. 科研航天真空设备

   空间环境模拟舱、超高真空实验室、质谱仪隔离阀；

5. 日系进口设备替换

   原装 MIYUKI 镀膜机、真空炉原配 JIS 法兰阀，替换无需修改安装开孔。

不适用场景（可选经济型 AER）