MIYUKI美幸辉 气动 L 型真空阀 AE 系列
AE 系列为FKM 氟橡胶 O 型圈轴封式经济型气动直角 L 型真空阀，同厂 AB 系列金属波纹管阀的平价替代款，主打中真空、常规真空管路、预算友好、维护简单，广泛用于镀膜粗抽、真空炉旁路、干式泵前端隔断、普通真空腔体切断。

一、品牌与产品定位

二、系列命名区分（AE / AER / AEH）

1. 基础后缀规则

1. AE：标准基础款，无气缸缓冲

2. AER：带气缸内置缓冲，启闭减震降噪，减少阀座冲击，延长密封寿命

3. AEH：可调开度款，气缸带限位，可停在全关 / 中间开度 / 全开，用于缓慢破空、真空压力微调（仅 16A~50A 小口径）

2. 法兰代号

• N：KF (NW) 快拆卡箍法兰（通用干式泵、实验室管路）

• J：JIS 日标螺栓法兰（日系进口设备原配）

• C：CF 刀口金属法兰（中高真空科研管路）

  示例型号：AE-N25、AER-J80、AEH-N50

三、核心结构与材质

1. 阀体：SUS304 不锈钢，内腔抛光，低流阻 L 型直角流道，双向承压密封

2. 轴封结构（与 AB 核心区别）

   阀杆动密封采用FKM 氟橡胶 O 型圈，无金属波纹管；结构简单、零件少、价格更低；但阀杆往复摩擦会微量析出粉尘，放气高于波纹管款

3. 阀座密封：FKM 氟橡胶，耐水汽、常规有机溶剂

4. 气缸：铝合金气动执行器，驱动气源 0.4~0.6MPa 洁净干燥压缩空气

四、关键技术参数

1. 口径覆盖：16A ~ 250A 全规格

2. 真空适用区间：大气压～10⁻⁵ Pa（中真空，达不到超高真空）

3. 整机外漏率：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s（AB 波纹管款可达 1×10⁻¹⁰）

4. 耐温上限

• 阀体最高烘烤：150℃（不可 200℃高温除气）

• 加装磁感应开关环境温度≤70℃

5. 气缸驱动形式

• 16A~50A：单作用（弹簧复位常开 / 常闭）、双作用可选

• 80A~250A：仅双作用气缸

6. 使用寿命

• 16A~50A：≥50 万次启闭

• 80A~250A：≥10 万次启闭

7. 通导抽速（AEH 小口径参考）

• 16A：4 L/s；25A：14 L/s；40A：51 L/s；50A：73 L/s

8. 选配配件：DC24V 配套电磁阀、NPN/PNP 磁感应阀位反馈开关，直连 PLC 自动化控制

五、AE 系列核心优势

1. 性价比高：无波纹管精密焊接件，采购价、后期维保成本远低于 AB 波纹管系列，仅 O 圈为易损件，更换简单

2. 大通流低阻力：L 型平滑内腔，抽气速率快，缩短腔体预抽时间

3. 安装姿态不限：可任意角度安装，真空侧、大气侧双向压差均可可靠密封

4. 选型丰富：基础款 / 缓冲款 / 可调开度款全覆盖，KF/JIS/CF 法兰通用，替换日系老设备原装阀

5. 自动化配套：缓冲减震、阀位信号、缓破空调节一站式选配

六、适用行业与工况

适配场景（优先选 AE）

1. 光学镀膜粗抽管路、PVD 设备旁路隔断阀

2. 干式真空泵、罗茨泵前端保护切断阀

3. 普通真空热处理炉、钎焊炉、小型实验室真空腔体

4. 锂电普通烧结、真空清洗、真空包装设备

5. 预算有限、无 200℃高温烘烤、无超高真空要求的产线

不适合场景（需升级 AB 波纹管款）

• 半导体晶圆工艺、高纯特种气体管路

• 需要 200℃高温烘烤除气腔体

• 超高真空（10⁻⁶Pa 以下）、氦检检漏系统

• 无尘严苛洁净工况，禁止微粒析出