MIYUKI美幸辉 AB 系列 气动 L 型真空阀
品牌：MIYUKI（日本美幸辉），1967 年创立日系专业真空阀门厂商

一、品牌与产品定位

二、系列区分：AB / ABR / AE / AER 命名规则

1. 轴封核心区分（选购关键）

• AB / ABR：SUS316L 焊接金属波纹管轴封（你询问的 AB 系列为此类）

  阀杆全金属波纹管隔离大气与真空腔体，无橡胶动密封摩擦、无粉尘析出、低出气；极限真空可达 10⁻⁷Pa，阀体可 200℃高温烘烤除气，漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，适配高纯工艺、超高真空、高温腔体。

• AE / AER：FKM 氟橡胶 O 型圈轴封（经济型）

  中真空工况，极限 10⁻⁵Pa，最高耐温 150℃，不可高温烘烤，成本更低。

2. 后缀字母含义

• R：内置气缸缓冲结构，启闭减震静音，减少阀座冲击、延长寿命（ABR = 带缓冲波纹管款，AB = 基础波纹管款）

• N：KF (NW) 快拆卡箍法兰（通用干式泵管路）

• J：JIS 日标螺栓法兰（日系镀膜炉、真空设备原厂标配）

• C：CF 刀口无氧铜金属密封法兰（科研超高真空、氦检设备）

  示例型号：AB-N25 / ABR-J100 / ABR-C63

三、AB 系列核心规格参数

1. 口径覆盖：16A～250A 全规格

2. 驱动气缸

• 16A～50A：支持单作用（弹簧复位）/ 双作用，可选常开 / 常闭；

• 80A～250A：仅双作用气缸；

• 驱动气源：0.4～0.6MPa 洁净干燥压缩空气；可选 DC24V 配套电磁阀、NPN/PNP 阀位磁感应反馈开关，直连 PLC 自动化联控。

3. 材质

• 阀体：SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，低放气、无油污残留；

• 波纹管：SUS316L；阀座密封：FKM 氟橡胶；

4. 真空性能

• 工作压力区间：大气压 ～ 10⁻⁶ Pa（超高真空）；

• 整机外漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；

• 双向耐反压：真空侧 / 大气侧反向承压均可可靠密封，分子泵前端、主抽管路通用；

5. 寿命

• 16A~50A：≥50 万次启闭；

• 80A~250A：≥10 万次启闭；

6. 耐温：腔体最高烘烤 200℃（波纹管优势，O 圈 AE 系列仅 150℃上限）。

四、AB 系列核心优势

1. 全金属波纹管洁净密封

   无橡胶轴封往复摩擦，不会产生微粒、无有机挥发物，适配半导体晶圆、光学镀膜、高纯特种气体工艺，杜绝腔体污染。

2. L 型流线内腔、大通导

   直角平滑流道，气流阻力极低，抽气速率快，缩短腔体预抽时间，提升设备稼动率。

3. 多法兰标准兼容

   KF 快拆、JIS 日标、CF 金属刀口法兰全覆盖，日系进口设备、国产真空机组、科研腔体均可直接替换。

4. 自动化配套

   气缸缓冲、阀位信号反馈、配套电磁阀一站式选配，适配全自动真空产线。

5. 双向耐压不串气

   任意安装姿态，真空 / 大气双向压差下密封稳定，可做隔断阀、旁路阀、分子泵保护阀。

五、适用行业与设备场景

1. 真空镀膜（主力应用）

   PVD 磁控溅射、ITO 导电膜、光学蒸镀、电子束蒸发设备，分子泵入口主切断阀、高真空腔体主抽阀；

2. 半导体 / 光伏

   PECVD、刻蚀、晶圆镀膜腔体隔离、氦检检漏系统、高纯工艺气切断；

3. 锂电新材料

   固态电池高温烧结炉、真空热处理钎焊炉；

4. 科研 / 航天

   空间环境模拟舱、高温材料试验炉、质谱仪、超高真空实验室；

5. 真空机组配套

   干式泵、罗茨泵、分子泵成套设备隔断保护阀。