TOFCO东富科 一体式针阀面积式浮子流量计
FC-CX26 属于Flow Checker 量产经济型带针阀流量计，是 CX 系列中大流量规格，内置底部精密 SUS316 针阀，可现场手动调节流量

一、产品定位

二、两大介质子系列

1. FC-CX26G（气体专用，基准：20℃/1atm 干燥空气 / N₂）

• G-0：10～100 NL/min

• G-9：20～200 NL/min

2. FC-CX26W（液体专用，基准：20℃纯水）

• W-0：0.4～3 L/min

• W-1：0.5～5 L/min

• W-9：1～10 L/min

三、工作原理

四、核心优势

1. 一体集成精密针阀，无需额外加装调节阀，设备管路集成简洁，中大流量调节稳定

2. PMMA 亚克力一体成型机身，洁净，面板嵌入式标准开孔，设备内置安装友好

3. 无源可视读数，断电仍可直观查看流量，无需持续供电

4. 可选 NPN/PNP 磁性报警开关，实现断流（低流量 B 接点）、超流量（A 接点）设备保护

5. 全部接液部件 SUS304，针阀阀芯 SUS316；标配 NBR 密封，可选 FKM 氟橡胶兼容弱酸弱碱清洗液

6. 标准库存量产机型，交期短，批量配套成本优势明显

五、标准技术规格

基础性能

• 流量精度：±5% FS

• 最高工作压力：0.5MPa (G)；流体温度＞45℃时建议≤0.3MPa (G)

• 流体最高温度：55℃

• 环境使用温度：0～55℃（无结露）

• 标准接口：Rc1/4 内螺纹；可选 Rc3/8

• 面板开孔尺寸：2×φ24mm

• 整机重量：约 180g

• 流向：下进上出（不可倒装 / 倾斜）

整机材质明细

磁性报警开关（选配）电气参数

• 供电：DC12～24V ±10%

• 整机功耗≤10mA

• 输出类型：漏极开路 NPN-A/NPN-B/ PNP-A/PNP-B

• A 接点：流量＞设定值闭合（高流量报警）

• B 接点：流量＜设定值闭合（断气 / 缺水报警）

• 接点耐压 30V Max，单路驱动电流≤100mA

• 标配 2m AWG24 屏蔽信号线

• 开关有效设定区间：满量程 20%~80%，高低流量无法触发

六、型号编码规则

1. FC-CX26G-9-PNP-B-FKM

   气体款 20~200NL/min、PNP 低流量断气报警、氟橡胶密封

2. FC-CX26W-9

   液体款 1~10L/min、无报警开关、标准 NBR 密封

• G = 气体 / W = 液体

• 0/9（气体）；0/1/9（液体）= 对应标准量程段

• 无开关后缀：不带报警；NPN/PNP-A/B：带晶体管报警输出

七、安装与使用规范

1. 必须垂直安装，流体下进上出，倾斜会造成读数偏差、针阀控流不稳

2. 管路前端加装小型 Y 型过滤器，防止杂质卡滞浮子、磨损针阀密封面

3. PMMA 亚克力外壳严禁接触丙酮、酒精、强有机溶剂、高浓度酸碱，仅适用于干燥洁净气体 / 纯水 / 低腐蚀清洗液

4. 报警信号线远离变频器、伺服电机等强电磁干扰源

5. 针阀禁止长期锁死关闭，易造成阀芯磨损、流量调节失效

八、典型应用场景

1. PCB/ORC UV 曝光机大流量氮气保护气调节与流量监视

2. 半导体湿法清洗、晶圆冷却纯水大流量控流监测

3. FPC 软板生产线显影、剥膜、清洗工位纯水流量管控

4. 等离子清洗机、臭氧设备、真空腔体吹扫氮气流量控制

5. 自动化设备冷却水路、实验室中大流量供气供水监测