SURUGA SEIKI洁净低粉尘蜗轮蜗杆电动旋转台
KRW06360-Z 是无尘洁净室专用中尺寸中空蜗轮旋转台，传动结构与标准 KRW06360 一致

一、型号编码完整释义

1. KRW：蜗轮蜗杆传动、360° 连续回转中空旋转台系列

2. 06：台面 φ59mm（60×60 方形）

3. 360：行程 0～360° 无限连续旋转，中心 φ30 通光通孔

4. Z：核心特殊规格后缀 = 超低粉尘洁净润滑规格

   区别标准 KRW06360 普通润滑，Z 款采用无挥发、低粒子析出专用洁净润滑脂，适配半导体、光学无尘室环境；同时密封结构优化，减少油脂挥发污染腔体 / 光路。

• M：电机横向侧出（主流面板安装）

• LC：HRS 直插接头线缆

• Z：低粉尘洁净润滑规格

二、产品定位与传动原理

三、标准技术参数（Z 洁净款 vs 普通 KRW06360 对比）

四、Z 后缀洁净款专属优化设计

1. 低粉尘专用润滑体系

   油脂无低分子挥发物，粒子析出量远低于标准款，不会污染晶圆、光学镜片、镀膜腔体；避免普通润滑脂挥发造成镜头起雾、晶圆表面微粒缺陷。

2. 全周防尘密封结构升级

   蜗轮仓、轴承位增加复合防尘垫圈，阻断内部润滑脂向外溢出，满足半导体无尘制程管控要求。

3. 低析出阳极表面处理

   铝合金台面黑色哑光硬质阳极，表面封闭工艺优化，金属离子析出极低，适配电子级洁净工况。

4. 洁净装配工艺

   出厂无尘车间组装、超声波清洗零部件，包装为真空防静电袋，开箱可直接投入洁净产线使用。

五、核心产品优势

1. 360° 连续回转 + 中心大通孔

   偏振片、波片、激光束可从转盘中心穿过，无需绕线干涉，椭偏仪、光谱仪标配结构。

2. 无尘洁净专用，半导体经济型旋转台

   标准 KRW 润滑挥发不适合晶圆制程；KRW06360-Z 专门针对洁净室开发，无需额外定制真空油脂即可用于低粉尘腔体。

3. 蜗轮机械自锁，长时间标定无漂移

   断电停机自动锁死角度，偏振光谱长时间扫描、晶圆静置对位无需电机持续励磁。

4. 多驱动方案兼容

   五相步进低成本、αSTEP 闭环杜绝丢步、EtherCAT 总线适配半导体多轴联动自动化产线。

5. 大台面适配中型光学负载

   φ59 台面可搭载分光镜、中型工业镜头、小型晶圆载片台。

六、主流应用行业场景

1. 半导体晶圆检测设备

   Mini LED 光学检测、晶圆 360° 外观扫描、洁净室偏振光学测试工位；

2. 高精度光学测量仪器

   椭偏仪、干涉仪、光谱仪偏振片全周扫描、光纤耦合角度校准；

3. 真空 / 低粉尘镀膜腔体配套

   腔体外部光路旋转调节，润滑无挥发污染膜层；

4. 实验室洁净光学平台

   无尘环境材料反射 / 透射光学测试、显微镜光路角度校正；

5. 精密镜片装配设备

   偏振镜、分光镜无尘车间旋转贴合校正。