TOKYO RYUKI 高压叶片式液体流量开关
RS-4R 是 RS 系列高压专用微量流量开关，核心差异化是最高耐压 2.0MPa

一、产品定位

二、工作原理

• 流量≥设定值：A 常开触点闭合（设备正常运行）

• 流量＜设定阈值：叶片复位，触点断开（触发报警 / 停机）

  介质与电气隔离，无贯穿轴，杜绝渗漏；仅支持水平单向安装，阀体标注流向箭头。

三、标准型号与动作阈值（低于该流量 OFF 报警）

四、核心通用技术参数

五、RS 全系流量开关横向对比（核心差异）

六、产品核心优势

1. 高压耐受能力强

   2.0MPa 耐压，适配增压泵高压冷却、高压喷淋清洗设备，普通 RS-1A/2A 耐压不足无法使用，是高压微量水路经济型流量保护方案。

2. 不锈钢阀体结构

   SCS14 不锈钢阀体，抗水压冲击，长期高压工况不易变形渗漏，适配半导体高压超纯水回路。

3. 紧凑型微量流量监测

   覆盖 1/2/3L/min 微小流量区间，适配高压细分冷却支路，体积小巧可串联狭小设备内置管路。

4. 低成本联锁保护

   对比带 Le 报警的 FLO-PL 流量计，仅实现断流保护，批量配套多条高压支路成本更低；可搭配 SF-313 视流器，实现「目视流动 + 电气高压联锁」双重监测。

5. 洁净无析出结构

   不锈钢腔体无锈蚀析出，适配电子级超纯水循环系统，不污染晶圆清洗水路。

七、主流行业应用场景

1. 半导体高压纯水清洗设备：增压超纯水细分支路堵塞、断流保护；

2. 高压激光水冷系统：增压冷却回路缺水联锁，防止激光器过热烧毁；

3. 小型高压喷淋清洗机：高压清洗水路流量不足报警、水泵空转保护；

4. 实验室高压水循环装置：微量高压循环水路监测；

5. 精密涂布高压冷却辊水路：增压冷却水低流量停机保护。