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KAB06050M-LCSURUGA SEIKI自动舞蹈 滚珠丝杠式双轴电动





产品型号:KAB06050M-LC
更新时间:2026-07-02
厂商性质:经销商
访问量:4
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SURUGA SEIKI自动舞蹈 滚珠丝杠式双轴电动
SURUGA SEIKI自动舞蹈 滚珠丝杠式双轴电动
KAB:滚珠丝杠式双轴测角仪系列
06:60mm 台面规格代号
050/075/100:旋转中心高度 50/75/100mm
M:标准 5 相步进电机;M-HR 为高分辨率 5 相电机
L/R:电机安装左侧 L / 右侧 R
C/G/H/J:线缆规格(长度、接头、耐弯折)
后缀 A/B 等:2m 裸线、2m 连接器、4m 机器人线缆选配
滚珠丝杠传动,背隙极低、响应更快
驱动单元 φ6 滚珠丝杠,导程 1mm,循环钢珠预紧结构,空程远小于蜗轮蜗杆;启停无滞后、扫描匀速性强,适合光谱连续角度扫描、高速自动化对位;缺点无自锁,断电角度会偏移,需持续电机锁止。
交叉滚柱全行程导向,高刚性低跳动
上下双轴均搭载交叉滚柱导轨,承载均匀、抗倾覆力矩强;回转中心径向跳动≤0.01mm,4.5kg 满载下形变极小,适合堆叠搭配 XYZ 线性滑台组成六维调整平台。
一体式双轴结构,同轴旋转中心
俯仰、偏摆共用同一旋转中心,光路对准无偏移,无需二次校正;单台集成双轴,相比两台单轴 KG/KGW 拼接,体积更小、同轴精度更高。
超高重复定位精度
高分辨率电机版本重复定位精度 **≤±0.001°**,标准电机≤±0.003°,优于蜗轮蜗杆测角台 ±0.005° 规格,适配干涉仪、薄膜测厚等高精光学场景。
多档旋转中心高度覆盖全光路
50mm(低矮光路)、75mm(通用标准)、100mm(高镜头 / 长焦距设备)三档,统一 60mm 大台面,可放置晶圆、分光棱镜、光学镜头等中等尺寸样品。
全闭环限位原点传感
每轴独立左右硬件限位光电 + 中心原点传感器,DC5~24V 通用信号,支持自动回零、PLC 自动化循环测试。
轻量化铝合金机身
主体航空铝黑色硬质阳极氧化,防锈耐磨;台面密布 M3 标准安装螺纹孔,兼容光学镜架、真空吸附载台、晶圆治具。
| 参数项 | 规格数值 |
|---|---|
| 载物台面 | 60×60 mm |
| 上轴行程(俯仰) | ±8.5° |
| 下轴行程(偏摆) | ±5.5° |
| 额定负载 | 4.5 kgf(44.1 N) |
| 驱动机构 | φ6 滚珠丝杠,导程 1mm |
| 导向 | 交叉滚柱导轨 |
| 台面高度 | 50±0.4 mm |
| 旋转中心高度 | 50±0.4 mm |
| 高分辨重复定位 | ≤±0.001° |
| 标准电机重复定位 | ≤±0.003° |
| 最大速度(上轴) | 13.7~31.4 °/s |
| 最大速度(下轴) | 11.0~21.5 °/s |
| 标配电机 | 5 相 0.72° 步进电机 |
| 整机重量 | 约 1.1 kg |
| 材质 | 铝 黑色阳极氧化 |
行程:上轴 ±5.5°,下轴 ±5°
其余负载、精度、台面尺寸一致,适配中等高度光学镜头、检测镜头。
行程:上轴 ±5°,下轴 ±4°
行程收窄换取更高力矩刚性,适配长焦距镜头、立式椭偏仪、大型分光系统。
M:标准 5 相增量步进(性价比常规检测)
M-HR:高分辨率 5 相步进(光谱、干涉、薄膜高精测试)
AR:αStep 增量编码电机,运行平稳、震动更低
AZ:αStep 绝对值编码,上电无需回零(产线自动化)
定制:EtherCAT 总线伺服、三菱 / 松下交流伺服(高速流水线)
A:2m 单端裸线;B:2m 双连接器;C:4m 标准连接器
G/H:耐弯折机器人线缆;J:4m 裸长线;无后缀 = 无电缆裸机
光学精密测试
椭偏仪薄膜测厚、干涉仪光路对准、光谱仪角度扫描、棱镜 / 分光镜双维度倾角校正、激光光纤耦合对位。
半导体晶圆检测
6/8 寸 Wafer 外观缺陷检测、SiC 碳化硅器件光学耦合、芯片引脚共面度双角度补偿、光学封装耦合工位。
精密视觉测量设备
3D 激光扫描、轮廓检测仪、机器视觉镜头姿态微调、微型元器件双角度外观检测。
科研实验室
光电材料反射 / 透射多角度变量实验、显微系统双轴倾角调节、偏振光学实验平台。
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