SHINKO SEIKI神港精机 油旋式真空泵
产品全称：SR/SRP 油旋式摆动活塞真空泵（往复活塞型）
品牌：日本神港精机 SHINKO SEIKI

一、基础信息

1. SR 基础单段型：标准皮带传动，坚固耐用，通用前级主力泵

2. SR-B / SR-BⅡ 大排量升级款：紧凑型大抽速，平衡结构，振动更低

3. SRP-B 超大型活塞泵：超大抽气量，面向大型真空机组

工作原理

二、核心产品特点

1. 结构坚固，超长寿命

   活塞耐磨设计，无易损旋片，连续 24 小时不间断运行，维护周期远长于旋片真空泵，适合热处理重载工况。

2. 真空性能稳定

   闭气镇：极限真空可达6.7×10⁻¹ Pa；开启气镇阀可处理水蒸气，极限真空 1.3×10² Pa，匹配扩散泵前级要求。

3. 标配气镇阀，耐水汽能力强

   可以抽除冷凝性水蒸气，少量水汽不会造成真空油乳化，兼顾干式预抽与潮湿工况。

4. 排气量大、抽气效率高

   同等电机功率下，活塞泵有效抽气量大于旋片泵，腔体预抽速度更快。

5. 全风冷设计

   无需外接冷却水，现场安装简单，适配车间无供水场景。

6. 法兰统一 JIS 日系标准

   进气口可直接对接 SV-L/SNV-L 直角真空阀，与 SD 扩散泵管路无缝成套匹配。

7. 低故障率，维保简单

   仅需定期更换真空油，活塞组件数年无需拆解更换。

三、完整型号与技术参数（50Hz，空冷）

四、可选配件

1. 油雾捕捉器 HT 系列：过滤排气油雾，保持车间洁净（HT500~HT15000 对应全型号）

2. 进气单向阀：停机防止大气返流污染真空腔体与扩散泵油

3. 真空压力继电器：与气动阀门联动，实现机组自动启停

4. 专用真空油：RPO/RP32 活塞泵专用油

5. 防震底座，降低整机运行振动

五、经典成套真空机组方案

方案 1（标准高真空机组・真空炉 / 镀膜机主力）

方案 2（大腔体大抽速机组）

方案 3（含水汽工况）

六、行业应用场景

1. 真空热处理行业（核心应用）

   真空退火炉、钎焊炉、烧结炉，工件大量放气，活塞泵重载不熄火，连续长期稳定运行。

2. 光学蒸镀、半导体镀膜设备

   SD 扩散泵机组标配前级泵，保证前级真空稳定，杜绝扩散泵背压过高停机。

3. SiC 晶圆蒸发、电子束科研腔体

   日系整套真空设备原厂配套泵，真空波动小，保障工艺稳定性。

4. 冷冻干燥、大型真空脱泡设备

   兼顾大抽速与中等真空，应对间歇式进气抽气工况。

5. 真空浸渍、电气元器件真空干燥生产线