SHINKO SEIKI神港精机 机械增压泵（罗茨）
工作原理：双平行轴搭载一对茧形平衡转子，非接触啮合旋转，把气体封闭在腔体连续输送，大幅提升前级泵抽速，缩短抽气时间，多用于中真空机组增压。

一、产品基础信息

1. SMB / SMB-C：标准齿轮传动型，主流通用款

2. SMB-CM：磁力耦合型，可大气压直接启动，带过载保护

3. SMB-D / DM：铝合金直连紧凑型，轻量化、低噪音

二、核心优势

1. 大抽速、极速升压

   增压倍率高，配合前级泵可把腔体抽气效率提升 5~10 倍，大幅缩短真空腔体抽气时长。

2. 无油洁净真空

   转子无接触摩擦，无润滑油挥发污染腔体，适配镀膜、半导体洁净工艺。

3. 低振动、低噪音

   转子动平衡精度高，卧式结构运行平稳，整机振动小，适合精密真空设备。

4. 耐用易维护

   齿轮传动结构稳定，润滑油路简单，日常仅需定期更换齿轮油，检修周期长。

5. 宽压差耐受

   CM/DM 款自带防过载结构，可承受较高入口压力波动，不容易过载跳闸。

6. 法兰兼容日系管路

   JIS 标准法兰，可直接对接 SV-L/SNV-L 真空阀，与 SD 扩散泵组成完整真空机组。

三、主流型号与技术参数（50Hz 工况）

特殊版本

• SMB-C06M（磁力款）：取消齿轮过载保护，允许从大气压直接启动，无需等待预抽真空，开机提速 50%。

• SMB-D 铝合金直连款：整机重量减轻 30%，体积更小，适合小型真空炉、镀膜机紧凑型机组。

机组选配规则

四、可选配置

1. 配件：压差保护继电器、温度过载保护器、水冷夹套（水汽工况）

2. 密封：普通油封 / 氟橡胶油封（耐弱腐蚀气体）

3. 润滑油：VG80、VG100 专用齿轮润滑油

4. 配套阀门：SNV-L 气动真空挡板阀、真空旁路阀，实现自动启停联锁。

五、行业工艺应用

1. 真空热处理行业（主力应用）

   真空退火炉、钎焊炉、烧结炉，搭配油封旋片泵组成二级机组，快速抽到中高真空，应对工件大量放气。

2. 光学镀膜、蒸发设备

   蒸镀机、离子镀膜机前置增压机组，洁净无油，保护后级扩散泵不受大气返流冲击。

3. 半导体与碳化硅工艺

   SiC 清洗腔体、等离子腔体预抽机组，洁净真空无油污染。

4. 冻干与锂电行业

   大型冷冻干燥机、锂电原料真空脱泡设备，应对大量水汽与放气。

5. 科研真空腔体

   电子束设备、材料烧结腔体，快速预抽真空，提升设备稼动率。