骏河精机 自动舞台 自动线性 X 轴平台
多导轨结构全覆盖，精度分级可选
交叉滚子导轨（KX/KXC/PG）：微进给平稳，重复定位 直线度≤1μm，超薄轻量化，适合显微、光纤耦合
哥特式拱槽滚珠导轨（KXG/KXL）：一体式机身铣削，四点接触高刚性，抗倾覆力矩强，半导体、激光主流选型
滑动导轨（KXS）：长行程、高负载、性价比突出，产线自动化批量设备优选

精度与定位性能

11. 精度梯度全覆盖：经济型 ±1μm、精密型 ±0.5μm、闭环伺服亚微米、直线电机达亚纳米级

12. 最小运动分辨率 0.05μm，微步分割可达 0.1μm / 脉冲，微量进给无卡顿

13. 单向定位精度最高≤3μm，全行程线性度误差极低，长行程无漂移

14. 重复定位精度标准 ±0.2μm，气浮 / 压电平台可达 ±0.01μm 级

15. 自研双螺母预紧滚珠丝杠，反向间隙≤1μm，换向无滞后背隙误差

16. 哥特式四点接触交叉滚柱导轨，四点受力，俯仰 / 偏摆角误差极小

17. 低速 0.1μm 微移动无爬行抖动，连续数千小时精度不衰减

18. 气浮平台无机械摩擦，零磨损、无振动、无滞后，适配超高纯晶圆检测

19. 压电驱动平台毫秒级高速纳米微调，适配硅光、光纤波导耦合对位

20. 高分辨率磁 / 光学编码器闭环反馈，实时补偿温度、负载形变误差

21. 全行程三段式激光干涉校准，起点 / 中点 / 终点逐段记录精度，附带原厂检测证书

22. 多轴堆叠正交误差出厂校准，XYZ 多轴垂直度偏差控制至角秒级

23. 角度台（测角台 / 弧度台）角度分辨率 0.001°，回转跳动极小

24. 自动调芯 EW 系列，对位分辨率 10nm，适配硅光子芯片光波导耦合

25. 长行程滑台冷热循环精度稳定，温差环境形变抑制工艺成熟

26. 垂直安装工况负载定位无下沉，断电刹车锁定精度不变

27. 高速启停无过冲、无震荡，自研运动曲线平滑算法

28. 负载重心偏移自动补偿，多轴堆叠姿态误差抑制技术成熟

29. 球面微调台倾斜微调角秒级，光学光路校准专用

30. 非接触激光自准直 Smart LAC 系列，瞬间完成姿态测量，行业最小体积