Toyo Tanso东洋炭素 SiC 碳化硅复合石墨
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成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、两类 SiC 复合石墨核心工艺区分

1. PERMA-KOTE® CVD-SiC 涂层石墨（覆膜改性，市面半导体主流）

• 结构：石墨基体 + 表层 SiC 致密薄膜（基体仍保留石墨韧性、导热优势）

• 核心定位：晶圆承载盘、MOCVD、硅外延、单晶炉高精度精密件

2. TS 系列 Siliconized Graphite 渗硅一体化 SiC/C 复合基材（整体复合）

• 结构：梯度 SiC/C 复合一体坯料，通体耐腐蚀抗氧化

• 核心定位：重载滑动件、等离子腔体、腐蚀气氛长晶、空气高温工况工装

二、全系型号、参数与定位

（一）TS 系列 一体化 SiC/C 渗硅复合石墨（基材级整块材料）

TS-004 标准均衡款

• 物性：复合密度 1.92~2.28g/cm³，抗折 86MPa，热导率 60~70W/m・K，连续耐温 1600℃（空气）、2200℃（惰性）

• 特性：平衡强度、导热、加工性，性价比量产通用

• 适用：真空炉耐腐蚀载台、蓝宝石辅助工装、光伏高温滑动密封件、普通等离子腔体构件

TS-005 高密度高硬度重载款

• 物性：复合密度 2.67g/cm³，抗折 105MPa，热导率 80W/m・K，耐磨、抗等离子冲刷能力拉满

• 特性：SiC 复合相含量更高，硬度、耐蚀、耐磨大幅提升

• 适用：MOCVD 大尺寸托盘、SiC 长晶炉保温件、等离子刻蚀腔体、长期空气高温循环构件、硬质合金烧结耐腐蚀模具

（二）PERMA-KOTE® CVD-SiC 涂层（按石墨基材划分，涂层统一工艺）

1. PERMA-KOTE + ISO 基材（ISO-63/68）

   超细晶粒超高纯基底 + SiC 涂层，低释气、镜面精度、极低颗粒污染

   应用：SiC/GaN 外延 MOCVD susceptor、硅外延承载盘、第三代半导体长晶核心件

2. PERMA-KOTE + TTK-87 基材

   量产高纯均衡型，大尺寸热场构件专用

   应用：直拉单晶炉加热器、热屏、蓝宝石长晶整套保温件、PVD/CVD 导热板

3. PERMA-KOTE + ISEM-3 基材

   半导体标准石墨舟基底，中等成本洁净制程

   应用：扩散炉石墨载具、离子注入夹具、中小型外延托盘

4. PERMA-KOTE + IG-110 超高纯基材

   核级低杂质基底，少子寿命管控严苛光伏单晶产线

   应用：210 大尺寸硅单晶导流筒、坩埚托、铸锭炉耐腐蚀热场

三、SiC 复合石墨通用核心优势（全系共有）

1. 高温抗氧化，突破普通石墨 600℃氧化上限

   SiC 保护层空气环境可稳定 1400℃长期使用，解决常规石墨＞600℃快速烧损，大幅延长空气 / 微量氧工况工件寿命。

2. 耐化学腐蚀，适配半导体腐蚀工艺

   耐受氨气 NH₃、 HF、氯气、硅蒸汽、熔融硅不浸润；MOCVD、外延工艺不会被腐蚀性工艺气体刻蚀，无石墨杂质污染晶圆。

3. 零掉粉、超低真空放气，提升芯片良率

   致密 SiC 封闭石墨孔隙，杜绝碳颗粒脱落、高温碳氢挥发物释放；GDMS 检测金属杂质极低，避免晶圆黑点、晶体缺陷、少子寿命衰减。

4. 高硬度耐磨、抗等离子冲刷

   SiC 莫氏硬度 9，远高于石墨；等离子刻蚀、外延气流冲刷工况不易磨损，托盘平整度长期稳定，批次膜厚均匀。

5. 保留石墨高导热、低热膨胀、抗热震基底特性

   相比纯 SiC 陶瓷韧性更好，快速升降温不开裂；热传导均匀，晶圆温场温差极小。

6. 分两种工艺适配不同加工需求

• CVD 涂层件：成品最后覆膜，适合高精度、少开孔的精密托盘；

• TS 渗硅一体料：可任意铣、钻、攻丝，加工断面自带 SiC 防护，适合复杂多孔、螺纹重载件。

四、三大行业精准选型指南

1. 第三代半导体（SiC/GaN、MOCVD 外延）

• 高精度晶圆承载盘、外延 susceptor → PERMA-KOTE + ISO-68

• 量产 LED/Mini LED MOCVD 大托盘 → PERMA-KOTE + TTK-87 / TS-005

• 等离子刻蚀腔体耐腐蚀构件 → TS-005

2. 光伏 & 蓝宝石长晶

• CZ 硅单晶炉加热器、热屏、导流筒（微量氧环境）→ PERMA-KOTE TTK-87/IG-110

• 蓝宝石长晶整套保温坩埚、发热支撑 → TS-004 / PERMA-KOTE TTK-8

• 铸锭炉耐腐蚀侧保温板、长期高温空气辅件 → TS-004

3. 真空热处理 / 腐蚀气氛工业炉

• 含氟、氯、氨气烧结炉载台、密封滑动件 → TS-005

• 实验室管式炉耐腐蚀坩埚、小型精密热处理治具 → PERMA-KOTE ISEM-3

• 空气环境高温连续热处理工装 → TS 一体化复合系列