Toyo Tanso东洋炭素 高纯度等静压石墨
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、产品定位与核心工艺

TTK 全系通用核心优势

1. 梯度高纯体系，杜绝晶体 / 晶圆污染

   标准款灰分＜100ppm；高纯 TTK-87 灰分＜50ppm；酸洗提纯可做到＜10ppm，Fe、Ni、Cu、B 等有害杂质严格管控，适配硅单晶、蓝宝石、化合物半导体洁净长晶环境。

2. 均衡超细晶粒，兼顾高温结构与精密加工

   晶粒 4~10μm 区间分级，高密度低孔隙，高温下气体渗透率低，热场内部不易积硅、积挥发物；同时可做镜面 EDM 电极，微小筋条不易崩角。

3. 高导热、低热膨胀、抗热震

   热导率 80~120W/m・K，热膨胀系数仅 5.6×10⁻⁶/K，快速升降温不开裂；真空 / 惰性气氛最高 2800℃长期稳定使用。

4. 超大规格原厂毛坯，适配大型热场构件

   最大坯料 305×610×1050mm，可直接加工大尺寸单晶炉加热器、保温筒、蓝宝石坩埚、多晶铸锭热屏，减少拼接、提升温场均匀性。

5. 优异高温力学性能，长寿命耐蠕变

   抗折 45~73MPa，高温下强度不降，承重发热体、石墨舟、螺纹紧固件长期循环不易变形断裂。

6. 各向同性三维性能统一

   X/Y/Z 导电、导热、热胀无差异，长晶炉温场无局部温差，硅片、蓝宝石晶体良率稳定。

二、TTK 全系列型号、参数、细分定位与适用工况

1. TTK-4（超细精密均衡款，EDM + 中小型长晶通用）

• 关键参数：晶粒 4μm，密度 1.78g/cm³，肖氏 72HSD，电阻率 14.0μΩ・m，抗折 73MPa，热导率 86W/m・K

• 定位：精密 EDM 电极、中小型单晶辅件、实验室长晶炉

• 应用：

• EDM：精密塑胶 / 压铸模具、手机外观镜面电极、微型型腔精加工；

• 光伏：小型实验 CZ 单晶炉导流筒、籽晶夹、保温小件；

• 半导体：小型扩散炉石墨载具、贵金属熔炼坩埚；

• 蓝宝石：小尺寸实验长晶保温衬套。

2. TTK-5 / TTK-5C（高密度重载热场主力，光伏铸锭标配）

• 关键参数：晶粒 7μm，密度 1.86g/cm³，肖氏 80HSD，抗折 73MPa，抗压 172MPa

• 定位：重载高温结构件、多晶硅铸锭炉量产热场

• 应用：

• 光伏多晶：铸锭炉石墨坩埚、侧保温板、底部承载台、发热带支撑；

• 真空热处理：硬质合金、陶瓷烧结重载托盘、加热支架；

• 冶金：连续熔炼石墨模具、高温螺纹紧固件。

3. TTK-8（通用高纯标准款，光伏 / 蓝宝石量产通用主力）

• 关键参数：晶粒 8μm，密度 1.78g/cm³，肖氏 65HSD，电阻率 12.5μΩ・m，抗折 50MPa，热导率 92W/m・K，灰分＜100ppm

• 定位：量产单晶、蓝宝石长晶标准基材，行业用量最大 TTK 牌号

• 应用：

• 光伏直拉硅 CZ 炉：加热器、热屏、导流筒、坩埚托（中小尺寸硅片量产线）；

• 蓝宝石长晶炉：单晶坩埚、保温筒、发热体、上中下保温组件；

• PVD/CVD 镀膜腔体、真空钎焊工装、粉末冶金烧结治具。

4. TTK-87（高纯改良款，化合物半导体 / 低污染长晶专用）

• 关键参数：基于 TTK-8 提纯，灰分＜50ppm，微量元素 Fe/Ni/Cu 大幅降低，低真空放气

• 定位：高洁净度长晶、第三代半导体、精密镀膜设备

• 应用：

• SiC 碳化硅长晶炉、GaN 外延 MOCVD 石墨舟、III-V 族化合物半导体烧结；

• 蓝宝石光学级晶体生长（减少晶体气泡、杂质缺陷）；

• 半导体扩散炉、离子注入石墨载片台。

5. TTK-9（超高导热大功率发热体专用）

• 关键参数：高密度强化配方，热导率 110~120W/m・K，低电阻率，导电发热效率高

• 定位：大功率长晶炉加热器、快速热处理 RTP 设备

• 应用：大尺寸 210mm 硅单晶炉主加热器、蓝宝石大吨位长晶发热带、连续式真空热处理加热元件。

6. TTK-50 / TTK-55（大尺寸经济型通用热场）

• TTK-50：密度 1.80g/cm³，性价比基础高纯料；

• TTK-55：密度 1.80g/cm³，晶粒 9μm，大坯料大型炉体结构件

• 定位：低成本大型隔热辅件、光伏辅助石墨件、工业炉保温衬板

• 应用：单晶炉外层保温筒、大型真空炉隔热板、光伏石墨舟托架、通用热处理工装。

三、三大核心行业精准选型指南

（一）光伏产业（直拉单晶 / 多晶铸锭）

1. 多晶硅铸锭量产全套热场 → TTK-5 / TTK-5C

2. 中小尺寸 CZ 直拉硅主线加热器、导流筒（通用量产）→ TTK-8

3. 210 大尺寸大功率单晶炉发热体 → TTK-9

4. 低氧少子寿命单晶产线 → TTK-87

5. 小型实验单晶炉、电极两用件 → TTK-4

6. 外层保温、低成本辅件 → TTK-50/55

（二）蓝宝石长晶（LED 衬底、光学窗口晶体）

1. 量产标准蓝宝石长晶全套热场（坩埚、保温、发热体）→ TTK-8

2. 光学级低缺陷蓝宝石、高纯生长工况 → TTK-87

3. 大吨位大功率长晶炉加热元件 → TTK-9

4. 实验室小型蓝宝石炉、精密加工小件 → TTK-4

（三）半导体（硅基 / 第三代半导体、镀膜、热处理）

1. 普通扩散炉、真空烧结工装 → TTK-8

2. SiC/GaN 长晶、MOCVD 外延、离子注入 → TTK-87

3. 小型精密石墨舟、实验腔体小件、EDM 电极 → TTK-4

4. PVD/CVD 镀膜腔体隔热、承载结构 → TTK-8/TTK-87