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IWAKI易威奇 MXM 耐用流程磁力泵
产品简介:

IWAKI易威奇 MXM 耐用流程磁力泵
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:MXM-80

更新时间:2026-06-18

厂商性质:经销商

访问量:3

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产品介绍

IWAKI易威奇 MXM 耐用流程磁力泵
IWAKI易威奇 MXM 耐用流程磁力泵

一、产品定位

MXM 是面向半导体、PCB 蚀刻、重型化工的中重载氟塑料磁力流程泵,定位介于 MX-F 中型泵与 MDM 大型泵之间;全系标配强化版空转自冷却 + 全时段非接触止推轴承,耐空转、抗汽蚀、抗闭阀冲击能力远超 MX 系列,过流件统一采用 CFRETFE 碳纤氟塑料,标配球墨铸铁外部防护壳体、ANSI 标准法兰、后拉式免拆管道检修结构,专为 24h 不间断、液位频繁波动、易抽空断液的严苛蚀刻产线、高纯化学品循环打造,是半导体 / 面板腐蚀工艺主力循环泵。

二、核心双防护结构(MXM 核心差异化优势)

1. 自循环散热冷却构造(强化升级)

叶轮与磁囊根部开设多组热扩散导流孔,依靠离心力强制轴承、主轴周边药液持续循环;空转 / 吸入空气 / 液位偏低时持续带走摩擦热,杜绝氟塑料高温熔融、轴承抱死。相比 MX 系列散热流道加宽、循环流量提升 40%,短时干磨耐受时间大幅延长。

2. 全域非接触止推轴承系统(全系全覆盖,无缩水型号)

通过稀土磁路精准限位内磁囊轴向位移,无论正常运行、空转、汽蚀、阀门全关,轴承后端始终不与止推环硬摩擦,从根源抑制干磨发热;MX 系列 MX-70/100 无此结构,MXM 全规格标配,异常工况故障率降低 70%。

3. 双层承压安全壳体(行业)

内层 CFRETFE 氟塑料过流腔,外层加厚球墨铸铁防护外壳;高温款增设 FRP 玻璃钢夹层,形成双重防泄漏屏障,内层氟塑料意外破损时外层壳体可临时承压,避免危化药液大面积泄漏,半导体洁净车间安全刚需。

三、全套耐腐材质体系

  1. 过流主体:CFRETFE 碳纤增强 ETFE(全系标配,无 GFRPP 版本)

    耐受、浓硫酸、浓硝酸、PCB 酸性蚀刻液、次氯酸钠、各类半导体高纯腐蚀药液;碳纤补强抗蠕变,介质最高比重可达 2.0,适配重金属浓缩蚀刻液。

  2. 主轴与轴承两种选配

    • 标准款:氧化铝陶瓷主轴 + 高密度碳石墨轴承(通用、耐空转性能优)

    • 重载耐磨款:全 SiC 碳化硅主轴 + SiC 轴承(含微量颗粒蚀刻液、高固含量药液专用)

  3. 密封垫片

    标准 FKM 氟橡胶;高温 / 强氧化剂可选 FFKM 全氟垫片、AFLAS 垫片。

  4. 外部结构

    外壳球墨铸铁、安装底座 316 不锈钢,耐车间酸碱雾气腐蚀;电机 IP66 工业防护。

四、标准技术参数(50Hz/60Hz)

  1. 流量区间:55 ~ 600 L/min(50Hz),最大 36m³/h

  2. 最高扬程:50Hz 最高 29m / 60Hz 最高 42m,长管路多滤芯系统无流量大幅衰减

  3. 电机功率:0.37kW ~ 3.7kW(0.5HP ~ 5HP)三相工业电机

  4. 适用介质温度:标准型 -10 ~ 90℃;高温 H 后缀款 -10 ~ 105℃

  5. 额定工作压力:标准 0.7MPa;高温款 0.3~0.45MPa

  6. 标准接口:ANSI 150# 法兰,可选 ISO 国标法兰

  7. 介质粘度上限:≤100mPa・s;介质最大比重 2.0

  8. 驱动形式:无密封磁力耦合,零泄漏,无金属离子析出污染药液

五、完整型号体系与后缀释义

基础三大本体规格

  1. MXM22 系列(小流量):MXM220、MXM221

  2. MXM44 系列(中流量通用):MXM441、MXM442

  3. MXM54 系列(大流量):MXM542、MXM543、MXM545

通用功能后缀

  • H:高温适配款(最高 105℃)

  • KK:SiC 碳化硅全套摩擦副(耐磨颗粒工况)

  • CF:碳石墨 + 陶瓷标准摩擦副

  • A:ANSI 法兰(出厂标配),I:ISO 法兰

  • D:带底部排污口,方便排空槽内残留药液

    完整型号示例:MXM542 KK H A D

    释义:54 大流量本体、SiC 全碳化硅轴承、105℃高温、ANSI 法兰、带排污底座

六、产品核心综合优势

  1. 全系无缩水耐空转设计

    MX 系列存在小型号阉割非接触结构,MXM 全规格搭载双防护,产线液位波动、抽空、误关阀门不易烧毁,大幅减少停机维修成本,蚀刻产线核心刚需。

  2. 双层安全壳体,半导体洁净车间专用

    双重防漏结构,杜绝蚀刻液泄漏污染晶圆、洁净区,满足电子厂高安全规范。

  3. 后拉式免拆管道检修

    维护时仅向后抽出泵芯组件,无需拆卸进出口法兰,单人快速更换轴承、叶轮、磁囊,缩短产线停机维保时长。

  4. 全氟材质通用强腐蚀工况

    无 GFRPP 低配版本,出厂即为 CFRETFE 氟塑料,可直接输送 HF、浓强酸,无需区分 MX/MX-F 选型,简化采购备货。

  5. 平衡式钐钴稀土磁囊

    高精度动平衡内磁总成,运行震动极低,避免管路共振、药液产生微颗粒,适配半导体高纯制程低颗粒要求。

  6. 加厚加强蜗壳结构

    泵体全应力点加强筋,耐压更高,24 小时连续重载循环不变形。

七、适用行业与典型工况

1. 半导体 / 晶圆制造(主力应用)

硅片蚀刻、清洗槽药液大流量循环、高纯酸供给系统、制绒药液循环、化学品集中过滤机组

2. PCB/FPC 线路板自动化产线

酸性蚀刻、微蚀、棕化、剥膜槽主循环、自动喷淋蚀刻线、高比重铜蚀刻浓缩液输送

3. 显示面板 / 光伏新能源

玻璃基板酸碱蚀刻、硅片清洗、镀膜前药液循环

4. 重型精细化工

浓酸洗成套设备、危化强氧化剂循环、高比重重金属药液输送

5. 大型连续电镀工业园

不锈钢酸洗、阳极氧化浓酸槽、钝化药液 24 小时不间断循环过滤


































































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