MIYUKI美幸辉 电动伺服闸板式 真空调节阀
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一、产品定位与型号命名

1. 系列定义

2. 完整型号规则

• GAR：闸板式电动伺服连续调节阀（0~90° 全行程无级）

• 法兰代码：J=JIS 日标 / N=KF 快装 / I=ISO-F 欧标 / C=CF 超高真空刀口

• 数字：DN 通径（25/40/50/63/80/100/160/200/250/300/350/400）

• 后缀 B：内置电磁刹车，断电锁止当前开度（标准标配）

  示例：

• GAR-I300B：ISO 法兰 DN300 大口径量产主抽调节阀

• GAR-J150B：JIS 法兰 DN150 日系半导体设备配套

• GAR-C63B：CF 法兰 DN63 超高真空可烘烤科研阀

二、核心工作原理

1. 搭配MS-VP 开度控制器 / MGCS-11 真空闭环控制器，接收 PLC 输出 DC0~10V/4~20mA 模拟指令；

2. 伺服电机直驱闸板（无齿轮传动、零背隙），0° 全关～90° 全开连续线性定位；

3. 内置高精度角度传感器实时回传当前开度，形成阀位闭环；

4. MGCS 可接入真空计，自动 PID 运算输出信号调节 GAR 开度，实现腔体真空全自动稳压，控制精度 ±0.1% 设定压力。

三、核心产品优势（闸板式差异化）

1. 闸板流道，微小开度线性稳定

   相比蝶阀，0~10° 极小节流区间气流无畸变，镀膜分压、刻蚀低压工况压力无漂移，适合精密工艺微量控流。

2. 大口径高推力伺服直驱

   覆盖 DN80~400 超大口径，电机扭矩充足，大管路启闭、长期高频调节无卡顿，适配连续式量产真空炉主抽。

3. 电磁刹车断电保护（标配 B 型）

   断电瞬间锁死闸板开度，腔体压力不突变；可定制失电自动全关版本，防止大气冲入污染晶圆、卷材。

4. 超高洁净低发尘构造

   阀体、闸板 SUS304 不锈钢镜面电解抛光，内部无金属滑动摩擦结构，无尘车间组装，Class1000 洁净室兼容，颗粒析出极低。

5. 氦检级超低泄漏指标

• 阀座内泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、光学镀膜严苛氦检漏标准，长期保压不漏气。

6. 耐高温、耐腐蚀密封可选

   标准 FKM 氟橡胶 O 圈；卤素等离子、酸碱腐蚀工艺升级 Kalrez 全氟醚密封；阀体最高 150℃烘烤（伺服电机环境≤40℃，不可烘烤驱动头）。

7. 低噪音运行

   启闭、微量调节无冲击震动，洁净车间噪音控制达标；无流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安装。

四、标准通用技术参数