MIYUKI美幸辉 CF刀口法兰 气动真空蝶阀
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一、型号命名释义（例：BH-C63）

1. BH：双气缸两段式驱动，三阀位结构，集成慢抽 / 慢破真空工艺功能，无需外置旁路针阀

2. C：代表CF 刀口金属密封法兰，无氧铜垫圈金属密封，支持高温烘烤、超高真空无油系统专用

3. 数字：公称通径 DN25/40/50/63/80/100/150（CF 法兰标准最大 DN150，无更大口径）

• BH-C：两段缓抽气动阀（本文主力）

• B-C：单气缸两位通断阀，仅全开 / 全关，无缓抽功能

• BAR-C/BAZ-C：伺服电动无级 / 多档位调节蝶阀，搭配 MGCS/MS-VP 控制器闭环稳压

• BT-C：手动 CF 蝶阀，无气动驱动

二、产品核心定位

三、核心产品优势

1. 双气缸三段阀位，一体化缓抽设计（核心差异化）

   双级气缸稳定 3 档固定开度，0~45° 慢开角度出厂可定制微调：

• 0° 全关：密封隔离真空管路，隔绝大气渗入超高腔体；

• 0~45° 小开度慢档位：平缓抽真空、缓慢梯度泄压，气流柔和无冲击，保护精密样品；

• 90° 全开：超薄阀体大通导，快速抽气缩短腔体循环周期。

2. CF 刀口金属法兰，适配 10⁻⁷Pa 超高真空

   两端标准 CF 刀口法兰，搭配无氧铜垫圈金属密封，无橡胶垫片低放气；阀体整体最高 150℃高温烘烤除气，适配分子泵 / 离子泵无油超高真空系统，极限真空可达 1×10⁻⁷ Pa。
3. 超薄阀体，超高流导抽速

   阀体面间厚度极薄，同口径流导远超闸阀，大幅降低真空泵负载；无介质流向限制，水平、垂直、倒置任意角度均可安装。
4. 氦检级超低泄漏指标

• 蝶板内部密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、科研精密氦检漏标准，长时间保压无渗漏。

5. 低放气高洁净无尘构造

   阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢镜面电解抛光，原厂万级无尘车间装配；内部无摩擦滑动机械结构，低颗粒析出、极低放气量，适配晶圆、光学元器件、电镜样品等高洁净超高真空工况。
6. 缓冲长寿命气动气缸

   齿轮齿条驱动，气缸两端内置气垫缓冲，启闭无冲击、低噪音；标准启闭寿命≥100 万次，适配实验室、半导体设备高频循环工况。
7. 三档位独立 PLC 阀位反馈

   内置多路微动开关（NPN/PNP 可选），分别输出全关、45° 慢开、90° 全开三路到位信号，直接接入设备 PLC 实现高真空工艺安全联锁控制。
8. 耐腐蚀密封可选方案

   标准 FKM 氟橡胶阀杆轴封；卤素等离子、酸碱腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封，耐化学介质、耐高温。

四、通用标准技术参数