MIYUKI美幸辉 ISO-F 两段缓抽气动真空蝶阀
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成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号命名规则（例：BH-I160）

1. BH：双气缸两段式气动蝶阀，三阀位工艺结构，自带慢抽 / 慢破真空功能，无需外置旁路针阀

2. I：代表ISO-F 欧标真空大法兰，欧美大型真空设备、连续式量产真空炉通用标准法兰

3. 数字：公称通径 DN25/40/50/63/80/100/160/200/250/300/350A

• BH-I：两段缓抽气动开关阀（本文主力）

• B-I：单气缸两位通断阀，仅全开 / 全关，无缓抽功能

• BAR-I/BAZ-I：伺服电动连续调节蝶阀，搭配 MGCS 真空压力控制器闭环稳压

• BT-I：手动 ISO 法兰蝶阀，无气动驱动

二、产品核心定位

三、核心产品优势

1. 双气缸三段阀位，缓抽一体化核心设计

   双级气缸稳定三档位动作，0~45° 慢开角度出厂可按需微调：

• 0° 全关：密封隔离真空管路；

• 0~45° 小开度慢档位：平缓抽真空 / 缓慢泄压，气流柔和无冲击；

• 90° 全开：超薄阀体大通导，快速抽气缩短腔体循环周期。

2. ISO-F 标准大法兰，适配大型工业真空主管

   欧标通用螺栓锁紧法兰，大口径刚性强、长期负压不变形；匹配欧美进口镀膜炉、国产连续式真空产线主抽管路，标准化法兰配件通用性强。
3. 超薄阀体，超高流导抽速

   阀体面间厚度行业超薄，同口径流导远优于闸阀，大幅降低真空泵负载；无介质流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安装。
4. 氦检级超低密封泄漏

• 蝶板内部密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、光学镀膜设备氦检漏验收标准，长时间保压无渗漏。

5. 高洁净低发尘无尘构造

   阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢镜面电解抛光，原厂万级无尘车间装配；内部无摩擦滑动部件，低颗粒析出、低放气，适配晶圆、光学膜等高洁净量产制程。
6. 缓冲长寿命气动气缸

   齿轮齿条驱动，气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击、低噪音；气缸推力放大设计，大口径启闭稳定，标准启闭寿命≥100 万次，适配产线 24h 高频循环工况。
7. 三档位独立 PLC 阀位反馈

   标配多路微动开关（NPN/PNP 可选），分别输出全关、45° 慢开、90° 全开三路到位信号，直接接入设备 PLC 实现工艺安全联锁控制。
8. 多密封耐腐蚀选配方案

   标准 FKM 氟橡胶 O 圈；卤素等离子、酸碱腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封，耐高温、耐化学介质侵蚀。

四、通用标准技术参数