MIYUKI美幸辉 快装两段式缓抽气动真空蝶阀
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成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号命名规则（示例 BH-N63）

1. BH：双气缸两段式气动蝶阀，三阀位动作（全关→0~45° 慢开→90° 全开），自带慢抽 / 慢破真空功能

2. N：KF (NW) 卡箍快装法兰，真空行业标准快拆接口

3. 数字：公称通径 DN25/40/50/63/80/100/160/200

• BH-N：两段缓抽气动阀（本文主力）

• B-N：单气缸两位开关阀，仅全开 / 全关，无缓抽功能

• BAR-N：伺服电动连续调节蝶阀，搭配 MGCS 做真空稳压

• BT-N：手动 KF 蝶阀，无气动驱动

二、产品核心定位

三、核心产品优势

1. 双气缸三段阀位，缓抽一体化（核心亮点）

   双级气缸结构，三种稳定开度：

• 0° 全关：密封隔离管路；

• 0~45° 可调小开度：平缓慢抽 / 慢破空，气流柔和无冲击；

• 90° 全开：大通导快速抽气，缩短腔体周期；

  45° 慢开角度出厂可按需微调，适配不同容积腔体工艺。

2. KF 卡箍快装法兰，拆装高效

   两端标准 KF 快装接口，仅用卡箍锁紧，无需多颗法兰螺栓；样机调试、设备改造、腔体检修可快速拆分管路，大幅缩短维护时间。
3. 超薄阀体，超高流导

   阀体面间厚度极薄，同口径流导优于闸阀，抽气阻力低；无介质流向限制，水平、垂直、倒置任意角度均可安装。
4. 氦检级超低泄漏

• 蝶板内部密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、光学设备氦检漏验收标准，长期保压不漏气。

5. 高洁净低发尘构造

   阀体、蝶板整体 SUS304 不锈钢镜面电解抛光，原厂万级无尘车间装配；内部无摩擦滑动结构，低颗粒析出，适配晶圆、光学元件高洁净工况。
6. 缓冲长寿命气动驱动

   齿轮齿条传动，气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击低噪音；标准启闭寿命≥100 万次，适配自动化高频循环产线。
7. 三档位独立 PLC 信号反馈

   内置多路微动开关（NPN/PNP 可选），分别输出全关、45° 慢开、90° 全开到位信号，直接接入设备 PLC 做工艺安全联锁。
8. 多密封耐腐蚀选配

   标准 FKM 氟橡胶 O 圈；卤素等离子、酸碱腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封，耐化学、耐高温。

四、通用标准技术参数