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MIYUKI美幸辉 B-I 系列 气动真空蝶阀
产品简介:

MIYUKI美幸辉 B-I 系列 气动真空蝶阀
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:B-I350

更新时间:2026-06-16

厂商性质:经销商

访问量:9

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产品介绍

MIYUKI美幸辉  B-I 系列 气动真空蝶阀
MIYUKI美幸辉  B-I 系列 气动真空蝶阀


    一、型号命名释义(以 B-I100 为例)

    1. B:标准单气缸两位气动蝶阀,仅 ** 全关 0°/ 全开 90°** 两档位,管路通断切断专用

    2. 第二位 I:代表ISO 标准大口径法兰(欧标真空法兰,设备行业通用 ISO-F 大法兰)

    3. 数字:公称通径 DN25/40/50/63/80/100/160/200/250/300/400A

    同法兰衍生全系列:
    • B-I:两位气动开关蝶阀(基础通断)

    • BH-I:双气缸两段式气动蝶阀(慢抽 + 全开双开度)

    • BAR-I / BAZ-I:伺服电动调节蝶阀(搭配 MGCS 控制器精密稳压)

    • BL-I:多点位可编程伺服蝶阀(14 档阀位定位)

    二、产品核心定位

    B-I 是大型量产真空设备、欧美设备配套、大流量主抽管路专用气动蝶阀,采用 ISO-F 大螺栓法兰,适配大口径、长期固定安装的真空主管路;阀体超薄大通导、低泄漏高洁净,广泛用于大型卷绕镀膜、锂电真空烘烤炉、半导体量产腔体、热处理真空炉等高真空大流量工况。

    三、核心产品优势

    1. ISO-F 标准大法兰,适配欧美 / 大型国产真空设备

      法兰开孔尺寸通用国际真空 ISO 规范,兼容进口大型镀膜机、连续式真空炉大主管,螺栓锁紧固定,长期负压无变形、不漏气。

    2. 超薄阀体,超大流导抽速

      同口径阀体厚度远薄闸阀,真空抽气阻力极低,大幅缩短大型腔体预抽时间;无介质流向限制,水平、垂直、倒置任意角度装配。

    3. 氦检级超低密封泄漏

    • 蝶板内漏:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

    • 阀杆轴封外漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

      满足半导体、光学镀膜严苛氦检漏标准,长时间保压无渗漏。

    1. 无尘低发尘结构

      阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢镜面电解抛光,原厂无尘车间组装;无内部摩擦滑动部件,晶圆、光学膜等高洁净制程无颗粒污染风险。

    2. 缓冲长寿命气动气缸

      齿轮齿条驱动,气缸内置气垫缓冲,启闭无冲击、低噪音;标准启闭寿命≥100 万次,适配产线高频循环工况。

    3. PLC 联动到位反馈

      标配内置微动开关(NPN/PNP 可选),实时输出阀门全开 / 全关到位信号,直接对接设备 PLC 做安全联锁保护。

    4. 多密封耐腐蚀选配

      标准 FKM 氟橡胶 O 圈;卤素、酸碱等离子腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封,耐高温耐化学侵蚀。

    四、标准通用技术参数

    参数项目规格标准
    驱动形式单气缸两位气动(标准双作用,可选弹簧复位单作用)
    气源条件0.4~0.6MPa,洁净干燥无油压缩空气
    适用真空区间常压 10⁵ Pa ~ 高真空 1×10⁻⁵ Pa
    法兰标准ISO-F 欧标真空法兰(B-I 专属)
    标准口径DN25~DN400A 全规格覆盖
    介质接触材质SUS304 不锈钢(电解镜面抛光)
    标准密封FKM 氟橡胶;可选 Kalrez 全氟醚
    最高烘烤温度阀体 150℃(气缸环境≤40℃,不可高温烘烤气缸)
    启闭响应时间≤1s
    电气信号NPN/PNP 阀位到位检测开关
    安装特性无流向限制,任意角度安装

    五、四大法兰系列横向对比(选型关键)

    型号系列法兰类型适用场景口径范围核心特点
    B-IISO-F 欧标大法兰大型量产真空炉、进口镀膜主抽管路DN25~400A大口径、固定主管、欧美设备配套
    B-JJIS 日标法兰日系半导体、光学设备、中小型量产腔体DN25~350A日系设备原厂标配
    B-NKF/NW 快装法兰实验室样机、小型腔体、频繁拆装管路DN25~200A卡箍快拆,检修便捷
    B-CCF 超高真空法兰超高真空科研、分子泵前端无油腔体DN25~150A金属无氧密封,超高真空专用

    六、同功能衍生型号区分(I 法兰通用后缀)

    1. B-I(基础款)

      单气缸两位开关,仅全开 / 全关;用于分子泵隔离阀、腔体总隔断、普通主抽管路,性价比高。

    2. BH-I(两段缓抽款)

      双气缸三动作:全关→45° 慢抽→90° 全开;腔体缓慢抽真空 / 破真空,防止膜材、电解液飞溅,无需额外旁路针阀。

    3. BAR-I(电动调节款)

      伺服电机 0~90° 连续开度,搭配 MGCS/MS-VP 压力控制器,真空闭环精密稳压,用于镀膜分段控压、载气流量调节。

    4. BT-I(手动款)

      无气缸手动手柄驱动,实验室简易真空管路手动切断。

    七、典型应用行业与工况

    1. 光学卷绕镀膜

      宽幅 AR 膜、偏光片、ITO 导电膜连续镀膜机主抽阀、大腔体破空阀、靶室隔离阀。

    2. 锂电新能源

      大型连续真空烘烤炉、卷绕注液真空腔体、隔膜大流量真空脱泡主管路隔断。

    3. 半导体量产设备

      大型 PVD/CVD 腔体、面板镀膜线、大口径分子泵前端总隔离阀。

    4. 热处理 / 光伏

      真空退火炉、光伏玻璃镀膜生产线、大型氦检设备主抽切断。

    5. 进口成套真空设备配套

      欧美品牌真空炉、溅射设备原厂 ISO 法兰管路替换备件。






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