MIYUKI美幸辉 B-N系列 气动真空蝶阀
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、产品定位与命名释义

型号规则（例：B-N63 / B-N100）

• B：标准单气缸两位气动蝶阀，仅 ** 全关 0°/ 全开 90°** 两档位，纯管路通断切断

• N：代表KF/NW 快装法兰（真空行业标准卡箍快拆接口），区别 JIS 法兰 B-J、超高真空 CF 法兰 B-C

• 数字：公称通径 DN25/40/50/63/80/100/160/200

核心定位

二、核心产品优势

1. KF 快装法兰，拆装便捷

   两端标准 KF 卡箍式接口，无需打孔锁紧法兰螺栓，现场快速拆装、更换管路，适合设备频繁改造、样机调试产线。

2. 超薄阀体，超高流导

   同口径阀体厚度行业极薄，抽气阻力小，大幅缩短腔体预抽时间；无介质流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安装。

3. 氦检级超低密封泄漏

• 蝶板内部泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、光学镀膜严苛氦检漏标准，长期保压无渗漏。

4. 洁净低产尘构造

   阀体、蝶板SUS304 不锈钢镜面电解抛光，原厂无尘室装配检测；无内部滑动摩擦结构，晶圆、光学膜等高洁净工况无颗粒污染风险。

5. 缓冲长寿命气动气缸

   齿轮齿条驱动，气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击、低噪音；标准启闭寿命≥100 万次，适配高频循环自动化产线。

6. PLC 联动到位信号

   标配内置微动开关（NPN/PNP 可选），实时输出全开 / 全关到位信号，直接接入设备 PLC 做联锁保护。

7. 多密封耐腐蚀选配

   标准 FKM 氟橡胶 O 圈；腐蚀工艺（卤素、酸碱等离子）可升级Kalrez 全氟醚密封，耐高温耐化学侵蚀。

三、典型应用行业 & 工况

1. 半导体设备

   PVD/CVD 小型腔体、晶圆贴膜 / 撕膜机、探针台、分子泵前级隔离阀、工艺支管切断。

2. 光学真空镀膜

   小型光学玻璃、镜头、AR 膜实验镀膜机，模块化真空管路隔断。

3. 锂电小型制程

   实验室真空烘烤、小型注液腔体、隔膜试样真空设备。

4. 科研 / 高校实验室

   真空退火炉、小型溅射台、研发样机，频繁拆装调试管路。

5. 精密电子

   FPC、摄像头模组真空吸附管路、小型脱泡设备。