MIYUKI美幸辉 B-J 系列 气动真空蝶阀
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、产品定位

• B-J：单气缸 2 位（全关 / 全开），仅做通断隔离

• BH-J：双气缸两段式，支持慢抽 + 快抽双开度

• BAR-J/BJ4：电机伺服调节型，用于真空压力精密调控

二、核心产品优势

• 超薄面间大通导

  阀体厚度极薄，同等口径下流导远优于闸阀 / 角阀，抽气速率高，缩短腔体预抽时间；无安装流向限制，水平、垂直任意角度均可装配。

• 超高洁净低产尘

  阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光；无尘室装配检测，无金属滑动摩擦结构，晶圆、光学膜等高洁净场景无颗粒污染风险。

• 氦检级超低泄漏

• 阀内密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体高真空氦检漏标准，长期保压无漏气。

• 缓冲气缸长寿命

  齿轮齿条驱动，气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击、低噪音；标准寿命≥100 万次启闭，适配产线高频循环工况。

• 完整信号反馈

  标配内置微动开关（NPN/PNP 可选），实时输出阀门全开 / 全关到位信号，直接对接 PLC 自动化联控。

• 多密封耐腐蚀可选

  标准 FKM 氟橡胶 O 圈；强腐蚀 / 高温工况可升级 Kalrez 全氟醚密封，耐卤素、酸碱工艺气体。

三、通用标准技术参数

四、型号命名规则（举例解析）

• B：单气缸两位气动蝶阀（通断型）

• J：JIS 标准法兰接口

• 80：公称通径 DN80A

• B-N63：KF (NW) 快装法兰款

• B-C100：CF 超高真空法兰款

• B-J200-KLZ：升级 Kalrez 全氟醚密封

• B-J160-SV：配套集成 DC24V 电磁阀一体款

五、结构组成

• 阀体主体：超薄不锈钢蝶阀本体，中线蝶板密封结构，全关零渗漏；

• 气动驱动气缸：齿轮齿条传动，内置缓冲减震；

• 阀位检测模组：透明可视开关仓，直观观察触点状态；

• 阀杆密封组件：双层 FKM 轴封，杜绝外部大气渗入真空腔体；

• 法兰密封 O 圈：蝶板边缘一体式弹性密封。

六、适用行业与典型工况

• 半导体制造

  PVD 溅射、CVD 沉积、刻蚀设备分子泵前端隔离阀、腔体预抽管路切断、工艺气体真空隔断；

• 光学 / 真空镀膜

  光学玻璃、偏光片、AR 膜镀膜炉主抽阀、靶室隔离阀；

• 锂电新能源

  极片真空烘烤、隔膜涂布真空设备、注液真空腔体通断；

• 科研 / 光伏

  真空退火炉、光伏镀膜设备、实验室高真空管路切换；

• 精密电子

  晶圆贴膜、撕膜机真空吸附管路隔断。