一、产品概述

后缀区分：W = 敞口自然溢流；F = 底部接外置过滤循环；M1=300mL、M2=500mL、M3=1000mL。

二、规格容积参数

三、结构与标准配置（成套 ST01WJ 标配）

1. 槽体主体

2. 夹持与搅拌系统

1. 侧边夹持阴极夹具：PEEK 绝缘夹边，只夹紧样品边缘，试样正反面全裸露浸液、双面同步电镀；标配多款夹头：15×10mm、30×30mm、50×50mm 方片、晶圆弧形夹头。

2. 单桨往复搅拌：微型伺服搅拌桨在晶圆双面往复扰动，替代晶圆旋转，低成本实现药液对流、排出盲孔气泡（A-52-ST 是晶圆旋转，A-53-M 固定试样 + 桨搅）。

3. 上下分体阳极支架：可装钛篮 / 铂网 / 磷铜阳极，上下双阳极对称布置，双面均匀电场。

3. 温控组件（标配）

• A-53-M1-P05WA：DC48V 50W 浸入式加热棒，内置过热熔断保险（干烧自动断电）；

• B-93-YTC300 精密 PID 温控器：控温 20~65℃，精度 ±0.5℃，适配全系列 M1/M2/M3 槽体。

4. 选配辅件

四、核心产品优势（对比常规杯槽）

1. 超省镀液：仅 300mL 起槽，金、钯等高价药水研发成本大幅降低，搭配 A01~A28 滴定试剂日常取样化验离子浓度、酸度、添加剂含量；

2. 可视化实验：全透明槽体，实时观察镀层生长、气泡析出、针孔麻点，快速判定镀液优劣；

3. 小巧桌面放置：整机台式，无需配套大型循环槽，实验室通风橱即可安装；

4. 双面同步电镀：同 A-52-ST 工艺逻辑，正反面一次成膜，无需翻面，膜厚均匀≤±3%；

5. 通用性强：更换夹具兼容硅片、SiC/GaN 化合物晶圆、PCB 小片、金属试样，铜 / 镍 / 金 / 锡 / 镍钴全镀种通用。

五、应用领域 & 镀种

适用电镀药水

终端客户

1. 电镀药水厂家：新品配方研发、添加剂优劣测试、A01 滴定配套验证；

2. 半导体封测实验室：晶圆切片工艺打样、参数摸底；

3. 高校微电子、功率器件（SiC/GaN）研发实验室；

4. 电镀厂新品前道小试（替代昂贵 8 寸 A-52-ST 先行小样筛选）。

六、选型区分

1. 研发打样、贵金属药水→M1 (300mL W 型)

2. 4/6 寸晶圆半片实验→M2 (500mL F 过滤款)

3. 小批量试样对比→M3 (1000mL F 型)