一、产品简介

衍生型号：A-52-STD（加强密封款）、A-52-ST-EL（化学镀专用款）。

二、核心工作原理

1. 晶圆卡入专用阴极盒，仅边缘划片区夹持、整片正反面裸露浸液，晶圆做阴极导电；上下对称布置双阳极（磷铜 / 镍 / 铂钛网）形成上下均匀电场，实现双面同时上电沉积镀层。

2. 中心桨式搅拌 + 晶圆低速回转双重对流：内置伺服桨叶环绕晶圆往复搅动 + 晶圆 0~80rpm 水平旋转，槽底持续稳压进液、外圈溢流回流，快速剥离晶圆微孔气泡、强化孔内镀液交换，解决高深宽比 TSV 空洞、膜厚边厚中间薄问题。

3. 槽体外置旁路连续过滤 + 恒温控温，镀液实时循环净化，搭配 YPP 系列精密直流 / 脉冲电镀电源，精准管控镀层结晶精度。

三、分规格槽体参数（A-52-ST 标准系列

四、整套标准配置（A-52-ST 成套标配清单）

1. 槽体主体（A-52-ST□-P01A）：双底溢流型亚克力电镀杯槽，双层溢流结构，底进液、上溢流循环设计；

2. 阴极盒（P02A）：3 种夹具可选：标准敞开型 / 全密封型 / 负压吸气密封型（镀金 / 锡防氧化选密封款，隔绝空气），PEEK 绝缘夹边，低压降碳刷导电结构；

3. 上下阳极支架（P09A）：上下分体阳极挂架，适配钛篮、网状贵金属阳极，阳极背面导流优化电场均匀性；

4. 桨式搅拌单元（P04D）：可调速伺服搅拌桨，变频 0~300 次 /min 往复搅拌晶圆双面药液；

5. 温控组件：WJ 型浸入式 PFA / 石英加热器（AC100V 日系标准电压，可选 220V 改制），控温 20~65℃，温控精度 ±0.8℃；

6. 精密过滤系统：20APFA (2~6 寸)/40APF (8~12 寸) 小型 PP 滤芯过滤器 + 微型气泵，5μm 连续旁路过滤，去除阳极渣杂质；

7. 选配：YPP 精密电镀电源（YPP15031WA 脉冲 / 直流两用），支持反向脉冲电镀，适配高深宽比填孔工艺。

五、产品核心优势

1. 双面一次电镀：无需翻面，正反面同步成膜，对比单面杯槽效率翻倍，减少晶圆磕碰报废；

2. 膜厚一致性优异：旋转 + 桨搅 + 上下对称电场，整片晶圆膜厚公差≤±2.5%，边缘增厚＜4%，满足 UBM/TSV 精密制程；

3. 兼容性强：单套夹具可同尺寸晶圆通用，更换夹头即可切换 2~12 寸；兼容酸性铜、镍、金、钯、锡、镍钴全品类半导体镀液；

4. 配套 A01~A28 镀液滴定套装：槽体预留取样口，日常取样用滴定试剂快速检测铜 / 镍 / 金、酸度、添加剂含量，精准补加药水；

5. 小型省液：杯式密闭结构，槽液容量小、贵金属药水损耗极低，适合研发打样、新品药水配方验证。

六、适用镀种 & 应用场景

电镀金属

终端使用

七、可选升级配件

1. N₂氮气密闭保护套件（镀金 / 易氧化锡镀必选）；

2. 在线 pH / 温度监测模块；

3. 220V 电压改制、PVDF 耐强腐蚀槽体定制；

4. 自动微量补液装置。