NIKKATO日陶 精密微球级（氮化硅研磨球）
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号与定位

• 型号：SUN‑15（精密微球级）

• 材质：高纯 Si₃N₄（氮化硅），纯度≥89%，低氧、低金属杂质

• 定位：SUN 系列精密微球旗舰，主打超精球形、超低磨耗、低污染、节能

• 对比：SUN‑15（精密 / 纳米） vs SUN‑11（通用 / 大球）

二、化学组成（高纯低杂质，严控金属）

• Si₃N₄：≥89%（α→β 相，柱状晶自增韧）

• 杂质（严控）：

• Fe：＜10 ppm（极低铁，不染色、不催化）

• Al/Ca/Mg：＜30 ppm

• 重金属：＜1 ppm

• 氧含量：＜0.8 wt%（比 SUN‑11 更低）

三、关键物理性能（精密化升级，对比 SUN‑11/YTZ）

• 核心亮点：99.5% 球形度 + 0.08ppm/h 超低磨耗 + 纳米级粒径 + 低杂质，纳米分散优选。

四、尺寸规格（精密微球全覆盖，纳米至毫米）

• 标准（精密）：φ0.3/0.5/0.8/1.0/2.0/3.0 mm

• 定制（纳米级）：φ0.1/0.2 mm（砂磨机专用，D50≤50nm）

• 公差：φ≤1mm ±0.01mm；φ>1mm ±0.02mm（比 SUN‑11 更严）

• 外观：深灰致密、镜面光滑、无气孔、无杂质点、粒径均一

五、制造工艺（高纯原料 + 精密烧结 + 超精后处理）

1. 原料：日本高纯 α‑Si₃N₄ 粉体（低氧＜0.8%、低铁＜10ppm）

2. 成型：CIP 冷等静压（高压），密度均匀

3. 烧结：1,700–1,800℃ 高纯氮气气氛，形成柱状 β‑Si₃N₄自增韧结构

4. 精密后处理：

• 超精镜面研磨（Ra≤0.05μm）

• 无尘超声波清洗（去离子水 + 高纯乙醇）

• 无菌真空包装（双层 PE + 铝箔袋）

• 全批次粒径筛选（分级精度 ±0.01mm）

六、核心优势（对比 SUN‑11/YTZ/ 氧化铝）

1. 纳米级精密分散：球形度 99.5%+ 圆度偏差＜0.05%，D50 可稳定至 30–50nm，粒度分布极窄。

2. 超低磨耗・长寿命：0.08ppm/h，比 SUN‑11 低 20%、比氧化锆低 80%、比氧化铝低 96%；连续使用≥25,000 小时。

3. 低杂质・高纯适配：Fe＜10ppm、重金属＜1ppm，几乎无金属析出；适配半导体 CMP、医药无菌、高纯陶瓷。

4. 轻量化・节能高效：密度 3.22g/cm³，比氧化锆轻 47%，磨机节能 30–40%，降低设备负载。

5. 耐高温・抗热震：1200℃稳定，ΔT≥600℃不开裂，适配高温精密研磨、烧结辅助。

七、典型应用（纳米・高纯・精密・）

• 半导体 / 电子：CMP 抛光液、SiC/AlN 纳米粉体、MLCC 钛酸钡、介电陶瓷、高纯浆料（低金属 + 纳米分散）

• 新能源锂电：NCM/LFP 纳米正极、硅碳负极、导电剂、电解液（低杂质 + 节能 + 长寿命）

• 医药 / 生物：无菌 API、纳米药物、脂质体、微球、蛋白分散（低析出 + 生物相容 + 易灭菌）

• 优良陶瓷：纳米氧化铝 / 氧化锆、陶瓷 3D 打印原料、高纯烧结助剂（高硬 + 耐磨 + 低污染）

• 涂料 / 油墨：纳米钛白、珠光粉、喷墨、高固涂料（高白度 + 低杂质 + 细度稳定）