USHIO牛尾 UXM 系列（深紫外短弧汞氙灯）
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

USHIO牛尾 UXM 系列（深紫外短弧汞氙灯）

USHIO牛尾 UXM 系列（深紫外短弧汞氙灯）
一、核心定位与光谱特点

• 类型：超高压短弧汞氙灯（Hg/Xe），电弧极短、亮度高、光斑均匀。

• 光谱：

• 深紫外区（230–320nm）：能量强，适配深紫外光刻胶。

• i-line（365nm）：线谱尖锐、稳定，半导体主流曝光波长。

• 近紫外–可见光：连续谱，适配多波段应用。

• 核心优势：光强稳定（±2%）、寿命长、电弧漂移极小、适配精密曝光 / 固化。

二、主力型号与关键参数（200–5000W）

1. 标准功率（200–500W，常用）

• UXM-200H AX：200W，寿命 1000h，通用深紫外 / 固化。

• UXM-501MA：500W，i-line（365nm）强，半导体 / PCB 曝光主力，寿命 1000h。

• UXM-501MD：500W，501MA 升级款，深紫外更强、稳定性更高，适配步进机。

• UXM-Q256BY：250W 点光源，初始能量 4000mW/cm²，寿命 3000h，用于精密点固化（如 LCD / 光学元件）。

2. 大功率（1000–5000W，高产能 / 大尺寸）

• UXM-1001MD：1000W，大面积 / 高速曝光。

• UXM-2004MD：2000W，大面板 / 高功率密度制程。

• UXM-5000MA：5000W，超大产能 / 特殊深紫外应用。

3. 关键参数对比（典型值）

三、典型应用场景

1. 半导体光刻（核心）：8/12 英寸晶圆步进机 / 曝光机，365nm i-line 曝光，线宽 1–5μm，良率 > 99%。

2. PCB/FPC 制造：HDI 板、柔性板光刻，深紫外穿透干膜 / 油墨，边缘清晰无侧蚀。

3. 精密 UV 固化：光学镜头、LCD/OLED、芯片封装 UV 胶固化，低温无热变形。

4. MEMS / 传感器：微结构光刻、生物传感器图案化，深紫外激活光敏材料。