Nikon日本尼康 Digimicro分辨率高 0.01μmNikon日本尼康 Digimicro分辨率高 0.01μm

一、产品定位

二、系统构成

1. 测头（3 款主力）

• MH‑15M（超高精度小行程）

• 量程：0–15 mm

• 分辨率：0.01 μm（配 TC‑200）

• 精度：0.7 μm（20℃）

• 测力：下约0.65 N、上约0.25 N，可低至 0.29 N，软质 / 超薄件不易压伤

• 响应速度：≤100 mm/s

• 重量：约140 g

• MF‑501（通用中行程）

• 量程：0–50 mm

• 分辨率：0.1 μm（MFC‑200）/ 0.01 μm（TC‑200）

• 精度：1 μm（20℃）

• 测力：下1.13–1.62 N，可降至0.29 N

• 响应速度：≤500 mm/s

• 重量：约310 g

• MF‑1001（大量程）

• 量程：0–100 mm

• 分辨率：0.1 μm（MFC‑200）/ 0.01 μm（TC‑200）

• 精度：3 μm（20℃）

• 测力：下1.23–1.81 N，可降至0.44 N

• 响应速度：≤500 mm/s

• 重量：约460 g

2. 计数器（2 款）

• TC‑200（高精度型）

• 最小读数：0.01 μm，多档切换（0.05/0.1/1/5 μm）

• 显示：10 位数字，带公差判定、峰值保持、RS‑232C 输出

• 适配：MH‑15M / MF‑501 / MF‑1001

• MFC‑200（经济型）

• 最小读数：0.1 μm，可切 0.5/1 μm

• 功能：基础测量、比较输出、数据打印

• 适配：MF‑501 / MF‑1001

三、核心技术与优势

1. 尼康自研光电光栅

   内置高精度线性编码器，全行程线性校准 + 温度补偿，无区间误差、长期稳定。
2. 超低可调测力

   MH‑15M最小测力≈0.25 N，测薄 / 软 / 脆工件（如晶圆、薄膜、极薄金属）几乎无压痕、无变形。
3. 高速响应 + 高重复精度

   MF 系列500 mm/s高速移动不丢数；全系列重复精度≤0.03 μm，适合自动化在线检测。
4. 丰富测针与支架

   可选：标准 / 针尖 / 扁平 / 滚轮 / 偏心等测针；搭配大理石 / 钢制支架、精密工作台，测量更稳。
5. 工业级环境耐受

   工作温度：0–40℃；湿度：20–80% RH（无凝露）；适配洁净室（ISO 7–8）、车间、实验室。

四、典型应用

• 半导体：晶圆厚度、封装凸台高度、引脚阶差、膜厚、微小元件尺寸。

• 精密电子：手机中板台阶、连接器高度、PCB 板厚、微型马达零件、镜头模组。

• 光学元件：透镜 / 棱镜厚度、平行度、镀膜厚度、滤光片高度差。

• 模具 / 治具：模具型腔深度、分型面高度、电极尺寸、治具定位面平面度。

• 科研 / 计量：实验室微小位移、材料形变、标准量块比对、精密尺寸标定。