TOKYO KEISO东京计装流量玻璃管转子流量计TOKYO KEISO东京计装流量玻璃管转子流量计

TOKYO KEISO 東京計装 NE 系列

微小流量玻璃管转子流量计（超微型面积式流量计）

一、测量原理

二、常用型号（半导体主流）

• NE‑015‑08‑S

• NE‑040‑10‑4

• NE‑040‑15‑S

• NE‑080‑30‑4

• NE‑080‑40‑S

量程特点

三、核心技术规格

• 精度：±2%FS

• 耐压：0.5 MPa

• 流体温度：5～60℃

• 接液材质：硼硅玻璃管、SUS316L、PTFE 浮子（耐腐蚀）

• 适配介质：N₂、Ar、HCl、HI、HF、超纯水、各类微量药液

• 安装：垂直安装，面板 / 管路安装均可

• 可选：限位开关、流量报警输出

四、产品特点

1. 超微小流量：比 P 系列更小，适合微量吹扫、旁路监控

2. 死体积极小，洁净度高，适配半导体 UHP 超高纯气路

3. 浮子可选用 PTFE 材质，耐HCl、HI、卤素等强腐蚀气体

4. 结构紧凑，体积小，适合设备内部狭小空间

5. 无电源、免维护，稳定可靠，日系原厂品质

五、典型应用

• SiC、第三代半导体、晶圆设备微量氮气吹扫

• HCl、HI 等腐蚀气体旁路、微量泄漏监测

• 超纯水、清洗药液微小流量目视指示

• 真空设备、分析仪器、检漏装置微流量监控