TOKYO KEISO东京计装 玻璃管浮子流量计TOKYO KEISO东京计装 玻璃管浮子流量计

TOKYO KEISO 東京計装 P 系列

玻璃管面积式（转子）流量计｜半导体吹扫 / 小流量气体液体通用

一、测量原理

二、主要型号与用途（半导体常用）

1. 主力通用型：P‑810（市场用量最大）

• 细分：P‑810‑08、P‑810‑15、P‑810‑30、P‑810‑50

• 用途：N₂吹扫、气体旁路、纯水小流量、药液目视监测

• 接液材质：玻璃管 + SUS316L / 氟树脂浮子

2. 微小流量型

• P‑010、P‑050、P‑100、P‑200、P‑300、P‑400、P‑510、P‑530、P‑540、P‑550

  用于极微小气体 / 液体，设备微吹扫、微量药液监测

3. 树脂防腐型

• P‑060：全树脂结构，耐强酸强碱，适配 HCl、HI、HF 腐蚀流体

4. 大流量 / 特殊型

• P‑610、P‑710、P‑820、P‑831、P‑900

三、核心规格

• 测量介质：气体、液体均可

• 精度：±2% FS（工业标准，目视流量计主流精度）

• 耐压：最高 0.5 MPa

• 温度：5～60 ℃

• 接液材质：硼硅玻璃、SUS316L、PFA/PTFE（防腐款）

• 安装：垂直安装，自带安装支架

• 输出：纯机械直读，可选配限位开关、报警输出

四、核心特点

1. 可视流量：直接看浮子位置，简单直观，无电气故障

2. 无电源、免维护，适合 24 小时连续运行

3. 耐腐蚀版本齐全，适配半导体腐蚀气体 / 药液

4. 日系原厂，洁净室等级，机台标配

5. 体积小巧，安装简单，性价比高

五、典型应用场景

• SiC、晶圆设备氮气吹扫、气路旁路流量监测

• HCl、HI、HF 微量腐蚀气体 / 液体目视监控

• 超纯水 DIW、清洗药液小流量监测

• 真空设备、检漏、分析仪器辅助流量指示