TOKYOKEISO东京计装超微小流量热式质量流量TOKYOKEISO东京计装超微小流量热式质量流量

TOKYO KEISO 東京計装 TH 系列

超微小流量热式质量流量控制器 MFC / 流量计 MFM

一、测量原理

二、主要型号

• TH‑1100

• TH‑1200

• TH‑1400

• TH‑1600

三、核心规格

• 精度：±1% FS

• 重复性：±0.2% FS

• 响应时间：＜1 s

• 耐压：0.5 MPa

• 接液材质：SUS316L，可做 EP 电解抛光，适配 HCl、HI、微量卤素气体

• 供电：DC24V

• 信号：0–5V、4‑20mA、RS485 Modbus‑RTU

• 接头：微型 VCR、微型卡套，适配半导体微管路

四、核心特点（对比 HM / TF）

1. 超微小流量天花板

   做到 0.1 sccm 级，是东京计装气体 MFC 里最小流量系列，HM、TF 做不到这么小。

2. 结构精密、死体积极小

   适合微量工艺气体、高洁净、低泄漏场景。

3. 耐腐蚀版本可选

   SUS316L‑EP 可用于 HI、HCl 等强腐蚀微量气体控制。

4. 体积紧凑，适配设备内置微小气路模块。

五、典型应用

• SiC、第三代半导体外延、刻蚀、掺杂极微量工艺气体

• 微量 HCl、HI、NF₃ 等腐蚀气体精准供给

• MEMS、精密真空设备、气体分析仪器

• 半导体工艺微量吹扫、微量反应气体控制