TOKYOKEISO东京计装紧凑型热式气体质量流量TOKYOKEISO东京计装紧凑型热式气体质量流量

TOKYO KEISO 東京計装 TF 系列

紧凑型热式气体质量流量控制器 MFC / 质量流量计 MFM

一、测量原理

二、全系列型号 & 量程

TF‑900 系列（超小型、微小流量）

TF‑1000P / TF‑1000S（标准紧凑型）

• TF‑1000P：通用型

• TF‑1000S：耐腐蚀型（SUS316L‑EP，适配 HCl、HI、卤素气体）

  量程：10 sccm ~ 2 L/min

TF‑1100 / TF‑1150（高精度型）

TF‑2000N（中流量紧凑型）

TF‑4000 / TF‑4100（超紧凑微型 MFC，半导体设备标配）

三、核心技术规格

• 精度：±1% FS

• 重复性：±0.2% FS

• 响应时间：＜1s

• 耐压：0.5 MPa

• 接液材质：SUS316L，腐蚀款为电解抛光 EP 不锈钢

• 信号：0–5V、4‑20mA、RS485 Modbus‑RTU

• 供电：DC24V

• 接口：VCR、卡套接头，适配半导体气路

四、核心特点（对比 HM 系列）

1. 体积更小：TF 是紧凑型，HM 是标准通用型

2. 安装灵活：适合机台内部狭小空间、模块化设备

3. 耐腐蚀版本齐全：可用于 HI、HCl、Cl₂ 等腐蚀性工艺气体

4. 功耗低、发热小，洁净室环境友好

5. 日系稳定可靠，对标 KOFLOC 8500、HORIBA SEC‑E 系列

五、应用场景

• SiC、第三代半导体刻蚀、清洗、吹扫气体控制

• 真空设备、检漏设备、分析仪器

• N₂、Ar、O₂、HCl、HI 等工艺气体微小流量控制

• 半导体设备内置式气路模块