TOKYO KEISO东京计装 超声波微小流量传感器
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TOKYO KEISO东京计装 超声波微小流量传感器TOKYO KEISO东京计装 超声波微小流量传感器

超声波微小流量传感器（FC6000/FC6500 专用检测单元）

一、测量原理

二、全系列型号 & 量程

最小常用：UCUF‑010，用于 HI、HCl 超微量腐蚀药液。

三、核心规格

• 接液材质：高纯 PFA / PTFE 全氟树脂

  耐 HCl、HI、HF、磷酸、强碱，无金属析出，半导体 UHP 超高纯流体适用

• 精度：读数 ±1% RD（FC6000）/ ±0.5% RD（FC6500）

• 耐压：0.3 MPa

• 流体温度：5～50 ℃

• 接口：1/4" PFA 扩口接头（半导体标准）

• 电气：专用屏蔽线缆，连接 FCA‑6000/6500 控制器

• 信号：超声波原始信号，由控制器运算处理

四、结构与优势

1. 全氟耐腐蚀，适配强腐蚀微量化学品

2. 无活动部件，免维护、长期稳定运行

3. 抗气泡能力强，药液微气泡环境测量稳定

4. 体积小巧，适合设备内部狭小管路安装

5. 只测流量，电控与流体分离，安全性高

五、系统组合（完整一套）

六、应用场景

• SiC / 第三代半导体刻蚀、湿法清洗

• HCl、HI、HF 微量腐蚀药液供给

• 超纯水 DIW、高纯化学品精密流量检测