TOKYO KEISO东京计装 药液用流量控制阀
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TOKYO KEISO东京计装 药液用流量控制阀TOKYO KEISO东京计装 药液用流量控制阀

高精度药液用流量控制阀（配套 FC6000/FC6500/CLFC300 系统）

一、产品定位

• 类型：电动比例式流量控制阀（针阀结构）

• 用途：配合流量控制器做PID 闭环精密流量调节

• 核心场景：SiC 刻蚀、湿法清洗、微量腐蚀药液供给

二、主要型号与对应量程

三、核心规格与材质

1. 接液材质

   阀座、阀芯、流道全部 PFA / PTFE 全氟树脂，无金属接触，耐 HCl、HI、、强碱、光刻药液，无离子析出，满足半导体高洁净要求。

2. 驱动方式

   步进电机驱动针阀，微小开度精准可控，适合 mL/min 级微量流量调节。

3. 耐压：0.3 MPa

4. 流体温度：5～50 ℃

5. 接口：标准 1/4" PFA 扩口接头（半导体通用）

6. 控制信号：接收控制器脉冲 / 模拟量信号，闭环自动调节

四、结构与优势

1. 针阀结构：线性调节好，小流量调节细腻，不易震荡

2. 全氟耐腐蚀：适配强腐蚀微量药液，寿命长、不污染流体

3. 体积紧凑，适合设备内部狭小空间安装

4. 与东京计装流量控制器匹配，即插即用，PID 控制稳定

五、系统搭配方案（完整一套）

1. 微量系统：

   FCA‑6000‑05 控制器 + UCUF‑050 传感器 + DCV100‑05 控制阀

2. 紧凑型一体式：

   CLFC300 内置阀（同 DCV100 阀芯结构）

六、典型应用

• 第三代半导体、SiC 功率器件刻蚀、清洗工艺

• HI、HCl、HF 等腐蚀性微量化学品供给

• 超纯水 DIW、高纯药液精密定量输送