TOKYO KEISO东京计装 一体式超声波液体流量
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TOKYO KEISO东京计装 一体式超声波液体流量TOKYO KEISO东京计装 一体式超声波液体流量

一体式超声波液体流量控制器（半导体专用）

一、核心结构特点

• 一体式集成：流量传感器 + 控制阀 + 控制电路做在一个本体上，不是分离式

• 测量原理：超声波时差法，无活动部件，无叶轮、无磨损、不易堵塞

• 接液材质：高纯 PFA / PTFE 全氟树脂，耐 HCl、HI、HF、强碱、强酸，无金属析出

二、主要型号 & 量程

CLFC300‑01 是该系列最小量程，用于微量 HI/HCl 药液控制。

三、性能参数

• 测量精度：±1% FS / ±1% RD

• 控制精度：±1.5% RD

• 响应速度：≤2–3 s

• 耐压：0.3 MPa

• 流体温度：5～50 ℃

• 供电：DC24V

• 信号：4‑20mA、0‑10V、RS485 Modbus‑RTU、报警输出

• 接口：标准 1/4" PFA 扩口接头（半导体洁净管路）

四、与 FC6000 / FC6500 关键区别（选型重点）

1. 结构

• CLFC300：一体式，体积小，直接装管路，安装简单

• FC6000/6500：分离式（控制器 + 传感器 + 阀），电控与流体隔离，安全性更高

2. 精度 & 稳定性

• CLFC300：标准精度，紧凑型通用款

• FC6500：更高精度、更高耐压、更强抗气泡，适合严苛强腐蚀微量工艺

3. 安装场景

• CLFC300：设备内部空间紧凑、集成化高的机型

• FC6000/6500：独立面板控制、对安全等级要求高的湿法台、刻蚀设备

五、应用场景

• SiC、第三代半导体、功率器件湿法清洗、刻蚀

• HCl、HI、HF 等腐蚀性微量药液供给

• 超纯水 DIW 微小流量精密控制

• 半导体设备内置紧凑型流量控制模块