TOKYOKEISO东京计装高精度超声波液体流量
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一、产品构成（和 FC6000 结构一致，性能全面升级）

1. FCA‑6500 控制器：高精度 PID 控制单元

2. UCUF‑6500 超声波流量传感器

3. FCV‑6500 精密流量控制阀

二、核心升级特点（对比 FC6000）

1. 精度更高

• 测量精度：±0.5% RD（读数）

• 控制精度：±1.0%RD

2. 抗气泡能力大幅强化

   针对 HI、HCl 等易产生气泡的强腐蚀药液优化算法，气泡干扰更小，流量更稳

3. 响应速度更快

   响应时间＜2 秒，微量流量调节更灵敏

4. 耐压更高、稳定性更强

   最高使用压力可达 0.5 MPa（FC6000 为 0.3MPa）

5. 洁净等级更高

   接液材质：高纯 PFA / PTFE，无金属析出，适配 UHP 超高纯流体

6. 信号抗干扰更强

   适合半导体设备强电磁干扰环境

三、全型号与量程

FC6500‑05 为最小量程，多用于HI、HCl 微量腐蚀药液供给。

四、通用规格

• 接液材质：PFA、PTFE（全氟树脂）

• 适用流体：超纯水 DIW、HF、HCl、HI、磷酸、各类酸碱药液

• 流体温度：5～50 ℃

• 供电：DC24V±10%

• 输出信号：4‑20mA、0‑10V、脉冲、RS485 Modbus‑RTU、报警输出

• 接口：标准 1/4" PFA 扩口接头（半导体洁净管路通用）

• 测量原理：超声波式，无活动部件，无磨损，免维护

五、应用场景（精准匹配你的工况）

• SiC / 第三代半导体刻蚀、湿法清洗、药液定量供给

• 含碘、碘化氢 HI、氯化氢 HCl 等强腐蚀微量流量控制

• 超高纯化学品、超纯水精密流量控制

• 晶圆、功率器件、优良封装工艺