TOKYO KEISO东京计装 超声波液体流量控制器
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TOKYO KEISO东京计装 超声波液体流量控制器TOKYO KEISO东京计装 超声波液体流量控制器
FC6000 是日本东京计装推出的分离式高精度微小流量闭环控制系统，专为半导体、光伏高洁净 / 强腐蚀药液、超纯水 DIW设计，是 SiC 刻蚀、晶圆清洗、HCl/HI 强酸强碱工况的主流日系精密流量控制产品。

一、产品整体结构（三位一体分离式）

1. FCA6000 系列 流量控制器：内置超声波变送 + PID 闭环控制，面板式安装，数显流量、设定值、报警

2. UCUF 系列 超声波流量传感器：无活动部件、全氟树脂接液，抗气泡干扰

3. FCV 系列 精密流量控制阀：PFA/PTFE 针阀，微小流量精准调节

二、核心技术特点

1. 强抗气泡能力

   有信号处理算法，解决传统超声波流量计遇气泡测量不稳问题，适配半导体含微量气泡药液，稳定可控。

2. 全氟耐腐材质

   接液部全部采用PFA/PTFE 特氟龙，无金属析出，耐 HCl、HI、HF、磷酸、强碱、各类刻蚀 / 清洗药液，适配强腐蚀洁净工艺。

3. 无磨损、免维护

   超声波非接触测量，无叶轮、无阀芯磨损，适合长期 24h 连续运行。

4. 高精度闭环控制

   测量精度：读数 ±1% RD；控制精度：读数 ±1.5% RD；响应时间≤3 秒。

5. 宽量程覆盖

   最小量程 2.5–25mL/min，最大量程 1–10L/min，完整覆盖半导体微量到中流量药液供给。

6. 标准信号兼容

   支持 4‑20mA、0‑10V、脉冲输出、RS485（Modbus），适配设备 PLC 通讯。

三、全系列型号 & 量程对照表（半导体常用）

同平台升级款：FC6500 系列，更高精度、更高耐压，用于超高洁净 / 超微量严苛工况。

四、通用技术规格

• 流体温度：5～50℃

• 最高工作压力：0.3MPa

• 供电：DC24V±10%

• 标准接口：1/4" PFA 扩口接头（半导体洁净管路通用）

• 线缆：标配 5m 同轴屏蔽线

• 安装方式：控制器面板安装，传感器 / 阀门管路安装

五、典型应用领域

1. 半导体：SiC 功率器件刻蚀、晶圆湿法清洗、药液定量供给、超纯水 DIW 控制

2. 化工：HCl、HI、HF、磷酸、强碱等强腐蚀液体精准控流

3. 光伏、精密电子、医疗设备洁净流体流量控制