EBARA/荏原 华南代理 燃烧式废气处理设备
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、核心规格参数

主流流量型号

• 标准款：最大进气 350 L/min（G5‑A/P 系列）

• 中流量：500/600 L/min

• 大流量款：1200 L/min（适配大产能刻蚀、CVD）

• 进气口：1~6 路可选，多路废气集中处理

• 外形尺寸：

• 350/500 型：1200×650×1900 mm

• 600/1200 型：1200×1100×2000/2200 mm

• 供电：三相 AC200V，常规功耗 1.1kW

• 燃料：城市天然气（LNG）/ 丙烷气（LPG）可选

• 安全认证：SEMI‑S2、CE、NRTL，满足晶圆厂规范

二、核心技术亮点

1. 快速启动旋转式燃烧器

   专属燃烧技术，PFCs（CF₄、NF₃、SF₆等）分解效率＞95%，快速启停，无回火、爆燃风险，处理稳定性行业优先。

2. 自动除粉 / 副产物清除系统

   标配燃烧器刮刀 + 水箱自动除渣，自动清除硅化物、氟化物、钛化物粉末副产物，维护周期大幅延长，减少停机频次，适配 SiC、TEOS 等高粉尘工况。

3. On‑Demand 按需节能运行

   根据废气流量、气体种类自动调节燃料供给，低负载时降低能耗，相比传统定频机型，运行成本降低 30%+。

4. 水幕湿式洗涤 + 大容积水箱

   后端水幕吸收酸性、碱性、水溶性气体，全流程防腐结构，耐 HF、HCl、HBr 强腐蚀气体，处理后尾气达标排放。

5. 紧凑型立式机柜，维护便捷

   仅需正面维护空间，适配 Sub‑Fab 狭小区域；配置透明可视窗口，可直观观察内部运行状态。

三、可处理废气（全品类覆盖）

• 可燃剧毒气体：SiH₄、PH₃、AsH₃、GeH₄、H₂、TEOS

• 难分解温室气体（PFCs）：CF₄、NF₃、SF₆、C₂F₆、CHF₃、C₃F₈

• 刻蚀 / 清洗酸性气体：BCl₃、HBr、Cl₂、F₂、HF、HCl、SiCl₄、WF₆

• 碱性气体：NH₃

四、G5 / TND / G‑WS1000 选型区分（快速对照）

1. G‑WS1000：纯湿式水洗，处理水溶性气体，无燃烧，安全低成本

2. G5 型：通用燃烧款，中小流量主流标配，兼顾 PFCs + 可燃气体，性价比高

3. TND 型：燃烧款，前置水洗 + 燃烧 + 后洗涤，针对高粉尘、高负载 SiC 产线

五、典型应用场景