OSI王子计测 相位差测量装置 在线产线型
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、主要在线型号与定位

1. KOBRA‑SPC 在线标准型（主流量产款）

• 标准多波长在线相位差检测，适配常规光学膜、偏光片、拉伸膜

• 非接触式在线扫描，实时输出相位差、取向角、幅宽分布

2. KOBRA‑SPC‑S 光谱在线型（科研产线）

• 搭载400–800nm 连续光谱，在线监控波长色散、多层膜光学特性

• 用于 OLED 补偿膜、AR 膜、功能性光学膜精密产线

3. KOBRA‑SPC‑IR 红外在线型

• 可选 850–1100nm 红外波段，适配红外光学膜、特殊高分子薄膜产线

4. KOBRA‑IMS‑ONLINE 成像式在线 Mapping 系统

• 大面积高速成像扫描，实时生成二维相位差云图

• 可识别局部缺陷、拉伸不均、斑点、条纹等质量异常

二、测量原理

1. 平行尼科尔旋转法：高速测量 Re、Rth、双折射、慢轴取向角

2. 光谱模式（SPC‑S）：在线实时波长色散监控

3. 非接触式测量，不划伤薄膜、不影响产线走带

三、核心技术参数

• 相位差量程：1 nm～20000 nm

• 重复精度：±1 nm，可检测超低相位差 PI 膜

• 测量光斑：φ0.8mm，可定制宽幅多点扫描

• 扫描方式：横向（幅宽）扫描 + 纵向（走带）连续检测

• 产线速度适配：最高支持数百 m/min 卷材产线（可按产线定制）

• 信号输出：4‑20mA、以太网、OPC UA、报警开关量，对接 MES/PLC

四、在线系统结构

1. 检测探头：安装于产线走带机架，上下式非接触光学检测头

2. 控制主机：工业级控制器，实时运算相位差、双折射、取向角

3. 操作终端：工业触摸屏，实时显示曲线、幅宽分布、报警信息

4. 数据系统：全程数据存储、报表导出、不良品标记、追溯

五、可测量项目

六、在线机型优势

1. 24h 连续在线监控，替代人工抽检，避免漏检、滞后

2. 实时反馈工艺，快速调整拉伸、退火、涂布工艺参数

3. 非接触无损检测，不损伤薄膜表面，适配高速卷材产线

4. 可对接工厂 MES、PLC，实现自动化生产闭环控制

5. 与实验室台式 HB、长样品 W 系列测量基准一致，实验室‑产线数据互通

七、典型应用产线

1. 显示光学膜：偏光片、位相差补偿膜、A‑PLS、COP 膜、PI 取向膜、圆偏光片卷对卷产线

2. 高分子薄膜：PET/PP 拉伸膜、热收缩膜、功能性包装膜

3. 光学功能膜：AR 减反膜、扩散膜、导光膜

4. 半导体基材：透明光学基材、晶圆保护膜等精密卷材产线