ADVANCE安德旺斯 气控式压力传感器
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ADVANCE安德旺斯 气控式压力传感器AM‑3240 是日本 ADVANCE 专为半导体高纯药液、强腐蚀流体（HI/HCl/HF）、超纯水、化学品管路开发的全氟耐腐蚀压力监测开关 / 压力传感器，搭配 PFA/PTFE 接液材质，用于管路压力检测、联锁控制、高低压报警，是 SiC 碳化硅刻蚀、清洗、供液系统核心压力反馈元件。

二、ADVANCE安德旺斯 气控式压力传感器核心特点：

1. 全氟接液材质：阀体 PFA、膜片 PTFE，耐受碘化氢 HI、氯化氢 HCl、HF、强酸强碱、光刻胶、有机溶剂，无金属接触流体，超高纯无离子污染

2. 气控式压力感应，无电子元件接触药液，抗腐蚀、寿命长、稳定性强

3. 可设定压力阈值，压力达标 / 超限输出开关信号，联动电磁阀、SAV 气动阀自动启停

4. 结构紧凑，适配歧管集成、狭小设备空间，可与 HICV 稳压阀、SAV 阀组配套使用

5. 防护等级高，适配半导体设备严苛洁净环境

三、主要型号：（细分规格）

• AM‑3240‑414A（常用标准型）

• AM‑3240‑412A、AM‑3240‑416A（不同压力量程、接口）

常用接口

M6、1/8"、1/4"（NPT/Rc）

四、标准技术参数：

• 压力量程：0～0.5MPa（适配 ADVANCE 全系阀类标准压力）

• 动作方式：气感式压力触发，开关量输出

• 使用温度：0～80℃

• 接液材质：PFA 阀体 + PTFE 感应膜片

• 输出信号：无源开关 / 触点信号，适配设备 PLC 控制

• 适用流体：超纯水、蚀刻液、清洗液、HI/HCl 腐蚀流体、高纯化学品

五、与其他系列配套逻辑：

1. HICV 稳压阀：稳定下游压力

2. AM‑3240 压力开关：实时监测稳压后压力，超限报警 / 联锁

3. SAV 气动阀 / AVS 电磁阀：接收 AM‑3240 信号，自动通断管路

六、典型应用场景：

1. 半导体：SiC 碳化硅刻蚀、清洗、化学药液供液系统压力监测

2. 高纯化学品输送：管路低压保护、高压报警

3. 超纯水系统、面板 / 光伏设备、分析仪器压力联锁控制