一、产品定位

二、核心特点（最大亮点）

1. 无弹簧结构：内部不使用金属弹簧，流体侧无金属件，杜绝铁、镍等金属离子污染

2. 全氟接液材质：阀体 PFA、隔膜 PTFE，耐 HCl、HI、HF、强酸强碱、有机溶剂

3. 超高洁净度：可用于 DIW 超纯水、光刻胶、蚀刻液、高纯气体、生物医药试剂

4. 零泄漏隔膜式，结构简单，寿命长，无弹簧疲劳问题

5. 直动式驱动，响应快，适配半导体设备自动控制

三、主要型号及功能

• NAVR‑2：2 通常闭型（主流）

  不通电关闭，通电开启，用于药液 / 超纯水通断

• NAVR‑3：3 通切换型

  用于气路 / 药液换向、真空切换、取样回路

常用接口

四、技术参数

• 工作压力：0～0.5 MPa

• 使用温度：0～80℃

• 标准电压：DC24V

• 接液材质：PFA（阀体）、PTFE（隔膜）

• 密封：隔膜零泄漏

• 适用流体：超纯水、高纯化学品、光刻胶、HCl/HI 腐蚀流体、半导体制程气体

五、NAVR / AVS / AVH 选型对比

1. AVS：标准型，带弹簧，通用洁净、性价比高

2. AVH：高压型，带弹簧，耐压 0.8MPa

3. NAVR：无弹簧・超高纯型，零金属污染，半导体制程专用

六、典型应用场景

• 半导体：SiC 碳化硅刻蚀、清洗、超高纯 DI 水系统、光刻胶供给

• 面板 / 光伏：化学品输送

• 医疗 / 分析：高纯试剂、无金属污染管路

• 强腐蚀环境：HI、HCl、HF 等高腐蚀高纯流体控制