Leybold/莱宝混合轴承无油高真空涡轮分子泵
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Leybold/莱宝混合轴承无油高真空涡轮分子泵
Leybold/莱宝混合轴承无油高真空涡轮分子泵
莱宝 TURBOVAC i 系列（混合轴承・无油高真空涡轮分子泵）

一、核心型号与技术参数（极限真空＜1×10⁻⁹ mbar）

标准性能总览（50/60Hz，集成驱动）

• 前级耐压：最高14 mbar（允许前级泵直接预抽）

• 噪音：＜40 dB (A)（静音运行）

• 轴承系统：混合轴承（高真空侧磁悬浮 + 前级侧陶瓷滚珠，终生润滑）

• 润滑 / 洁净：全无油设计，无油雾、无返油，适配超高洁净制程

• 认证：CE、SEMATECH（半导体高洁净）、ATEX（可选防爆）

二、核心结构：混合轴承（无油免维护核心）

• 高真空侧：磁悬浮轴承

• 无接触、无磨损、终生免维护，极限真空可达1×10⁻⁹ mbar，无机械摩擦污染。

• 抗冲击、耐频繁启停，适配复杂工况。

• 前级侧：陶瓷滚珠轴承（终生润滑）

• 高强度陶瓷材质，耐磨、耐高温、耐腐蚀，无需定期换油，维护周期＞5 年。

• 集成迷宫密封，防止前级油雾返流，保护高真空侧洁净。

• 集成驱动 + 智能控制

• 内置高频变频器，24 VDC 低电压供电，即插即用，无需额外控制器。

• 紧凑接口：RS485/USB/ 数字 I/O，3 个 LED 状态灯，可联动控制阀门、冷阱等附件。

• 可选Anybus 现场总线（Profinet/EtherCAT/IP54 防护），适配工业自动化系统。

三、关键核心特点

1. 全无油超高洁净，无污染

• 磁悬浮 + 陶瓷轴承全程无油，无油雾、无返油、无磨损碎屑，满足ISO 7/8 级洁净室要求。

• 极限真空达1×10⁻⁹ mbar，适配半导体沉积、离子注入、分析仪器等超高洁净场景。

2. 混合轴承免维护，寿命长

• 磁悬浮侧无磨损、免维护；陶瓷轴承侧终生润滑，无需换油，维护成本降低 90%。

• 非接触转子设计，无机械损耗，连续运行寿命＞10 万小时。

3. 高抽速 + 高压缩比，轻气高效

• 抽速覆盖90–1450 l/s，轻气体（H₂/He）抽速优异，解决传统泵轻气抽速低的痛点。

• 氮气压缩比高达10¹¹，前级压力波动适应性强，真空稳定。

4. 风冷 / 水冷可选，安装灵活

• 小型（90–450 i）：风冷标配，无需冷却水，适配狭小空间、移动设备。

• 大型（850–1450 i）：水冷为主，散热效率高，支持 24 小时连续运行。

• 任意角度安装（垂直 / 水平 / 倒置），适配复杂真空腔体布局。

5. 强耐受性，适配严苛工况

• 颗粒耐受：优化流道设计，耐受微量粉尘 / 碎屑，适配镀膜、刻蚀等含颗粒制程。

• 辐射耐受（iR 版本）：远程电子单元，可远距离（200m）安装，适配核物理、辐射环境。

• UHV 版本：全金属密封，极限真空达1×10⁻¹¹ mbar，适配同步辐射、表面科学研究。

四、典型应用

• 半导体 / 微电子：沉积（PECVD/ALD）、刻蚀、离子注入、氦检漏、真空载具（高洁净、无污染）。

• 分析仪器：质谱（MS）、电子显微镜（SEM/TEM）、X 射线衍射（XRD）、表面分析设备（超高真空、无油）。

• 真空镀膜：光学镜片、光伏电池、半导体晶圆、装饰膜（高真空稳定、无油雾）。

• 科研 / 实验室：同步辐射、核聚变研究、低温物理、真空测试系统（超高洁净、高真空）。

• 工业真空：小型热处理、真空焊接、真空封装、精密检漏（紧凑高效、免维护）。