Leybold/莱宝RUVAC WH/WHU 系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

莱宝 RUVAC WH/WHU 系列（水冷全密封电机・有毒 / 腐蚀性气体专用）

一、核心型号与技术参数（50/60/70 Hz，超大抽速）

标准性能表（极限真空＜4×10⁻² mbar，漏率＜1×10⁻⁶ mbar・L/s）

• 转速：3000/3600/4200 rpm（50/60/70 Hz）

• 噪音：＜63 dB(A)

• 密封材质：FPM（氟橡胶），标配；**FFKM（全氟醚橡胶）** 可选，耐强腐蚀

• 润滑：**PFPE 全氟聚醚油（LVO 400）** 标配，无碳氢污染、耐腐、防爆

• 认证：ATEX Cat.3i/2G、CE、IE3 高效电机、SEMATECH（半导体高洁净）

二、核心结构：水冷全密封无轴封电机（有毒气体安全核心）

• 无轴封贯穿设计：灌封式全密封电机，定子大气侧、转子真空侧，无任何连通大气的旋转轴封，漏率＜1×10⁻⁶ mbar・L/s，比 WS/WSU 低 100 倍，杜绝有毒气体外泄。

• 水冷一体化：电机定子、齿轮箱、泵体全水冷包裹，油温降低 50%，耐热冲击、防高温分解有毒气体，延长 PFPE 油寿命至 20000 小时。

• 高纯防腐腔体：过流部件316L 不锈钢 + 特氟龙涂层，耐受Cl₂、HCl、HF、NH₃、有机溶剂等强腐蚀气体；可选氮气 / 氩气吹扫系统，防止湿气凝结与腐蚀。

• 防爆隔离：电机全密封灌封，无电火花外泄，适配易燃易爆气体（如 H₂、CH₄），满足 ATEX 防爆标准。

三、关键核心特点（对比 WS/WSU 的核心升级）

1. 安全，零泄漏防中毒

• 无轴封全密封，有毒气体零外泄，保护人员安全与环境；系统真空稳定，无泄漏导致的工艺波动。

• 标配 PFPE 全氟润滑，无碳氢污染、不与有毒气体反应，防止自燃或分解。

2. 强耐腐 + 防爆，适配高危气体

• 316L 不锈钢 + 特氟龙涂层 + FFKM 密封，耐受强酸碱、卤素、有机溶剂；吹扫气系统可选，隔离湿气与腐蚀性残留。

• 全密封防爆电机，无电火花、耐高温，适配易燃易爆有毒气体（如 H₂S、CO）。

3. WHU 带旁通，超大抽速高效

• WHU：集成高压差旁通阀，可大气压直接启动，无需预抽，适配短周期、频繁启停的有毒气体制程。

• 70Hz 变频：抽速最高达9800 m³/h，比 50Hz 提升 40%，大流量有毒气体快速抽排，缩短工艺周期。

4. 水冷温控，高负荷稳定运行

• 全水冷设计，极限压力下热释放降低 50%，电机与齿轮箱长期低温运行，无过热风险、寿命延长 50%。

• 适配24 小时连续运行的化工 / 半导体产线，维护周期长达 2 年。

5. 安装灵活，系统集成简便

• 流向可现场切换：标配垂直流，可改为水平流，适配复杂管路与狭小空间。

• 支持20–70Hz 变频驱动，节能 30%+，智能调速适配变工况，防止高压差过载。

四、典型应用（有毒 / 腐蚀 / 易燃易爆气体场景）

• 半导体：刻蚀（Cl₂、BCl₃）、沉积（SiH₄、NH₃）、离子注入、尾气处理（高洁净、零泄漏、防爆）。

• 化工 / 制药：蒸馏、结晶、干燥、脱泡、有毒气体输送（如 HCl、HF、H₂S）、易燃易爆气体（H₂、CH₄）处理。

• 冶金 / 热处理：真空熔炼、烧结、退火、渗碳（有毒合金蒸气、保护气体）。

• 科研 / 仪器：同步辐射、质谱、电子显微镜、表面分析设备（超高洁净、高真空、无碳氢污染）。

• 光伏 / 镀膜：电池片沉积、光学镜片镀膜、建筑玻璃镀膜（大抽速、短周期、洁净无油）。