Leybold/莱宝RUVAC WS/WSU 系列
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成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

莱宝 RUVAC WS/WSU 系列（密封电机・气密 / 防腐・高洁净）

一、核心型号与技术参数（50/60 Hz，4 大规格）

标准性能表（极限真空＜4×10⁻² mbar，漏率＜1×10⁻⁴ mbar・L/s）

• 转速：3000 rpm（50 Hz）/ 3600 rpm（60 Hz）

• 噪音：＜67 dB(A)

• 密封材质：FPM（氟橡胶），耐溶剂、水汽、轻度酸碱

• 润滑：标准矿物油 LVO 100，可选合成油或 PFPE（全氟聚醚，LVO 400）适配防腐 / 高纯工况

• 认证：ATEX Cat.3i、CE、IE3 高效电机

二、核心结构：罐装密封电机（气密 + 防腐核心）

• 无贯穿轴设计：电机为罐式密封结构，定子在大气侧、转子在真空侧，无直接连通大气的轴，消除轴封泄漏点，漏率＜1×10⁻⁴ mbar・L/s，远优于 WA/WAU 的普通轴封Leybold 莱宝。

• 全封闭腔体：电机与泵体一体化密封，内部氮气保护，防外界湿气 / 粉尘侵入、防内部气体外泄，适配高洁净与有毒 / 工况。

• 防腐升级：泵壳防腐涂层 + 氟橡胶密封 + 可选 PFPE 润滑，耐受轻度酸碱、有机溶剂、水汽，适配化工、制药、半导体蚀刻等腐蚀场景。

三、关键核心特点（对比 WA/WAU 的核心优势）

1. 气密，零轴封泄漏

• 罐装电机无贯穿轴，无轴封泄漏风险，系统真空更稳定，杜绝返油 / 杂质污染，适配半导体、镀膜等高洁净制程。

• 全密封结构可防止有毒、易燃、贵重气体外泄，提升安全性与经济性。

2. 高洁净无油，适配严苛制程

• 泵腔全程无油，转子非接触运行，无油雾、无返油、无磨损碎屑，满足 ISO 7/8 级洁净室要求。

• 可选 PFPE 全氟润滑，无碳氢污染，适配半导体沉积、离子注入、分析仪器等超高洁净场景。

3. WSU 带旁通，启动灵活防过载

• WSU：集成压差旁通阀，可大气压直接启动，无需前级预抽，适配短周期、频繁启停工况，旁通阀高压时自动开启保护电机。

• WS：无旁通阀，需前级预抽至 10–100 mbar 启动，适合长周期稳定运行的高真空系统。

4. 风冷免水冷，可靠易维护

• 电机自带风扇风冷，无需冷却水、无管路维护，适配缺水 / 狭小空间，运行成本低、无漏水风险。

• 非接触转子无磨损件，寿命长、维护周期长（年维护 1 次）；模块化设计，密封件 / 轴承可现场更换。

5. 安装灵活，变频节能

• 流向可现场切换：标配垂直流，可改为水平流，适配复杂管路与狭小空间。

• 支持 20–100 Hz 变频驱动，节能 30%+、智能调速适配变工况，防止高压差过载。

四、典型应用（高气密 / 洁净 / 防腐场景）

• 半导体 / 光伏：刻蚀、沉积、离子注入、载具清洗、氦检漏系统（高洁净、零泄漏）。

• 真空镀膜：光学镜片、光伏电池、建筑玻璃、装饰膜（高真空稳定、无油污染）。

• 化工 / 制药：蒸馏、结晶、干燥、脱泡、有毒 / 气体输送（气密防腐、安全可靠）。

• 科研 / 仪器：同步辐射、质谱、电子显微镜、表面分析设备（超高洁净、高真空）。

• 热处理 / 冶金：真空烧结、退火、渗碳（大抽速、气密防氧化）。