Leybold/莱宝 TRIVAC 双级旋片泵 中高真空
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Leybold/莱宝 TRIVAC 双级旋片泵 中高真空Leybold/莱宝 TRIVAC 双级旋片泵 中高真空

莱宝 TRIVAC 双级旋片泵（B/L/T 系列，中高真空）

一、核心系列与型号参数（50 Hz）

1. TRIVAC B 系列（经典标准型，抽速 4–65 m³/h）

2. TRIVAC L 系列（全新风冷优化型，2026 新发布）

• 抽速：5.8–110 m³/h，覆盖 B 系列并扩展大流量

• 核心升级：三级气镇，水蒸气耐受性提升 30%；全风冷、立式 / 卧式安装兼容；ATEX 防爆可选

• 适配：高湿制程、冻干、半导体镀膜、热泵制造

3. TRIVAC T 系列（大流量工业型，抽速 45–63 m³/h）

• 型号：D40T / D60T

• 极限真空：＜4×10⁻⁴ mbar（无气镇）

• 水蒸气抽除：835–1110 g/h，适配高负荷干燥 / 脱泡

• 重量：65–70 kg；接口：DN40 KF

二、结构与工作原理

• 双级结构：初级级 + 次级级串联，气体经初级预压缩→次级精压缩→排气，极限真空比单级泵高 100 倍以上。

• 核心组件：偏心转子 + 旋片 + 双级泵腔 +内置强制油泵+油压控制防返油阀+集成气镇阀+排气油雾过滤器。

• 原理：转子旋转带动旋片离心滑动，双级腔室容积周期性变化，完成吸气→压缩→排气；泵油密封、润滑、冷却，油雾过滤效率＞99.9%。

三、关键特点

1. 超高极限真空，中真空优选无气镇极限真空 **＜1×10⁻⁴ mbar**，满足中真空精密需求；带气镇仍可达 **＜5×10⁻³ mbar**，干湿两用。
2. 耐水汽，高湿工况稳定标配集成气镇阀，可混入空气降低泵油蒸汽压，容许高水蒸气分压；L 系列三级气镇，耐受能力更强，适配真空干燥、冻干、蒸馏。
3. 极低返油，系统洁净油压驱动防返油阀，停机自动密封进气口，返油率＜1×10⁻⁴ mg/cm²・h，杜绝系统油污染，适配镀膜、分析仪器。
4. 工业级连续运行，低维护内置强制油泵，润滑不受进口压力影响；允许大气压直启，可 24h 连续运行；前侧操作 / 油位视窗，易维护；电机 IP54/55，适配恶劣环境。
5. 低噪低振，安装灵活噪音52–60 dB(A)，振动小；结构紧凑，风冷免水冷；进气口可水平 / 垂直安装，适配狭小空间。

四、典型应用

• 真空镀膜 / 半导体：PVD/CVD 镀膜前级、电子束焊接、晶圆封装、溅射设备前级泵。

• 冷冻干燥 / 食品医药：冻干机主泵、真空浓缩、灭菌消毒、香精萃取。

• 工业制程：真空热处理、钎焊、树脂脱泡、注塑脱气、中央真空系统。

• 科研 / 实验室：高真空预抽、质谱 / 色谱前级、真空腔体、材料测试。

• 其他：空调 / 热泵制造、灯泡 / 电子管生产、低压蒸馏。

五、型号命名规则（以 D16 B 为例）

• D：双级（Dual-stage）

• 16：50 Hz 抽速约 16 m³/h

• B：标准型；L：风冷优化型；T：大流量工业型