樫山Kashiyama大型干式真空泵SDL 系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

樫山Kashiyama大型干式真空泵SDL 系列樫山Kashiyama大型干式真空泵SDL 系列
SDL 系列是樫山工业（KASHIYAMA）大型干式真空泵，主打大抽速、高真空、强耐久、低能耗，面向半导体、FPD、光伏等大腔体 / 高产能制程，提供洁净、稳定的高真空环境。

一、核心定位与原理

• 泵型：多级罗茨 + 螺杆复合干式结构，全程无油运行，转子无接触、无磨损，无油污染、无返油风险。

• 冷却：水冷 + 空冷混合设计，适配连续高负载运行，散热效率高。

• 核心优势：超大抽速 + 高极限真空 + 耐腐蚀 + 智能控制，适合 24 小时连续工业制程。

二、主流型号与关键参数

• 电源：三相 AC200～220V/380～440V，50/60Hz。

• 接口：进气 MF160，排气 NW50。

• 材质：接液部不锈钢 + 特种防腐涂层，适配腐蚀性气体（如 HCl、Cl₂）。

三、核心特点

1. 超大抽速，高产能优备

• 最高60,000L/min，适配大尺寸晶圆（300mm/450mm）、FPD 基板、光伏硅片等大腔体制程，抽气效率提升 50%+。

2. 高极限真空，洁净无油

• 极限压力0.8Pa，全程无油运行，无油蒸气污染，满足半导体 Class 1 洁净室标准。

3. 强耐腐蚀，宽工况适配

• 转子与腔体采用不锈钢镀层 + 陶瓷涂层，耐受酸性气体、溶剂及微量颗粒物，适配刻蚀、沉积等恶劣制程。

4. 节能高效，运行成本低

• 标配变频驱动（VFD），能耗较传统油泵降低 30%～50%；低转速设计，磨损小、寿命长。

5. 智能可控，远程运维

• 标配RS485/Modbus 通讯，支持远程监控真空度、温度、功耗；内置故障诊断系统，实时预警，维护便捷。

6. 稳定耐久，24 小时连续运行

• 重型机架 + 精密动平衡，振动≤15μm；水冷 + 空冷混合散热，耐高温，适合 24 小时不间断工业生产。

四、典型应用

• 半导体：300mm/450mm 晶圆刻蚀、CVD、PVD、Load Lock 预抽、腔体清洁。

• FPD / 面板：LCD/OLED 基板镀膜、刻蚀、真空贴合、大腔体排气。

• 光伏 / 新能源：硅片镀膜、扩散、PECVD、真空烧结。

• 通用工业：大型真空镀膜、真空热处理、环境测试舱、中央真空系统。