樫山Kashiyama无油洁净、纯风冷、高性价比
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樫山Kashiyama无油洁净、纯风冷、高性价比
樫山Kashiyama无油洁净、纯风冷、高性价比

一、核心定位与原理

• 泵型：多级罗茨干式结构，全程无油运行，转子与腔体无接触、无磨损，无油污染、无返油风险。

• 冷却：全空冷设计，无需冷却水，即插即用，适配无水 / 移动 / 洁净室场景。

• 核心优势：洁净无油 + 空冷免维护 + 耐水汽 + 宽电压，兼顾稳定性与经济性。

二、主流型号与关键参数

• 电源：单相 AC100～240V（宽电压）/ 三相 AC200～240V，50/60Hz 自动适配。

• 接口：进气 NW25/NW40，排气 NW25。

• 材质：接液部铝合金 + 特种涂层，适配非腐蚀性气体，可选防腐涂层。

三、核心特点

1. 无油洁净，适配高等级环境

• 干式无油，无油蒸气污染，达到 Class 1 洁净室标准，适配半导体、医疗、食品等洁净制程。

2. 纯风冷免维护，部署灵活

• 无需冷却水，插电即用，维护周期长达 3～6 年（空气 / N₂工况），无耗材、无漏油风险。

3. 低噪低振，环境友好

• 运行噪音 **≤55～72dB (A)，振动≤8～15μm**，实验室 / 洁净室友好。

4. 强耐水汽，适配潮湿工况

• 标配气镇阀，最大水汽处理量600g/h，可处理水蒸气、溶剂等可凝性气体。

5. 宽电压 + 智能可控

• 100～240V 宽电压设计，适配各国电网；标配RS485 通讯，支持远程监控 / 调速。

四、典型应用

• 实验室 / 分析仪器：质谱、色谱、扫描电镜、真空蒸馏、浓缩干燥。

• 半导体 / 面板：Load Lock 预抽、小型腔室真空、晶圆搬运、低压 CVD 辅助。

• 通用工业：真空包装、吸附固定、环境测试舱、医疗设备、真空镀膜前级。

• 科研 / 高校：真空实验、材料制备、小型真空系统。