KOFLOC/科赋乐 质量流量控制器（MFC）
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KOFLOC/科赋乐  质量流量控制器（MFC）KOFLOC/科赋乐  质量流量控制器（MFC）
KOFLOC（科赋乐）是日本小岛旗下品牌，其质量流量控制器（MFC）以热式传感、高速响应、高精度与高稳定性著称，广泛用于半导体、光伏、化工、医疗与分析仪器等气体精密控制场景。

一、核心工作原理

二、主流系列与特点

1. EX 系列（全金属数字型，高精度 / 耐腐蚀）

• 型号：EX-550、EX-250S、EX-201SC 等

  

• 特点：全金属密封，兼容腐蚀性气体；RS485 标准通讯；高速响应（＜1s）、零点稳定；精度 ±1% SP；支持 0-5V/4-20mA 信号，±15V/24V 电源可选。

• 流量：10sccm～10SLM（N₂ 换算）。

2. 3660/3665 系列（标准通用型，高性价比）

• 型号：3660（中小流量）、3665（大流量）

  

• 特点：经典成熟、稳定可靠；常闭阀安全设计；可选低压差（LP）适配燃烧气体；CE 认证。

• 流量：3660 为 10sccm～20SLM；3665 为 30～100SLM（N₂）。

• 精度：±1.0～1.5% FS；响应＜2s。

3. 3200 系列（高精度小型化）

• 型号：3200

  

• 特点：替代 3910 系列，体积小、死区体积低；最小 1sccm 满量程（SR 选项）；温控电流差传感，高速高精度。

• 应用：半导体、LCD、生物医疗等精密场合。

4. 8700 系列（带显示数字型）

• 型号：8700MC/MM、8750MC/MM

• 特点：自带显示屏，可实时读瞬时 / 累积流量、设报警；RS485、0-5V/4-20mA；宽量程 10sccm～100SLM。

5. ST-500 系列（PI 控制型，高稳定性）

• 型号：ST-500

• 特点：PI 控制算法，稳定性优；精度 ±1% SP（10～100% FS）、±0.1% FS（2～10% FS）；重现性 ±0.2% FS。

三、关键技术参数（通用）

• 适用气体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂ 及多种腐蚀性气体。

• 控制范围：2～100% FS（部分型号 5～100% FS）。

• 响应时间：≤1～2s（±2% FS 内）。

• 精度：±1.0～1.5% FS（25℃）；温度系数 ±0.1～0.2% FS/℃。

• 材质：接气部 SUS316L、PTFE、Au 等，适配高纯 / 腐蚀气体。

• 电气：信号 0-5V/4-20mA；电源 ±15V 或 24VDC；通讯 RS485（可选 DeviceNet/EtherCAT）。

四、典型应用

• 半导体：刻蚀、沉积、扩散工艺的气体配比与流量控制。

• 光伏 / 锂电：氩气、氮气、氧气等保护气与工艺气控制。

• 分析仪器：色谱、质谱、气体分析仪的载气 / 样气精密控制。

• 医疗 / 环保：气体混合、烟气分析等。

五、选型要点

1. 确认气体类型、流量量程（N₂ 换算）、精度等级。

2. 匹配工作压差、入口压力、温度 / 湿度环境。

3. 选择信号 / 电源规格、通讯接口、显示功能。

4. 腐蚀性 / 高纯工况优先选全金属密封（EX 系列）。