Edwards/爱德华 干式螺杆真空泵 GXS 系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、核心定位

• 品牌背景：英国 Edwards 创立于 1939 年，真空技术超 80 年，*干泵装机量超 15 万台。

• 应用场景：半导体（刻蚀 / 沉积 / 光刻）、锂电池（电极干燥 / 注液）、光伏（扩散 / PECVD）、真空镀膜（PVD/CVD）、化工制药、食品包装、科研等高洁净 / 高真空 / 含粉尘 / 腐蚀性气体工况。

• 核心价值：无油无污染、极限真空 5×10⁻⁴ mbar、低振动低噪音、长周期维护、智能控制，替代传统油式泵与多级罗茨泵，降低运维成本，保障制程良率。

二、型号与关键参数（主流）

• 组合机型：可配罗茨增压泵（如 GXS750/2600），抽速达 2600 m³/h，极限真空 1×10⁻⁴ mbar，适合大腔体 / 快速抽气场景。

三、工作原理与核心技术

• 工作原理：单级干式螺杆结构，双螺杆同步反向旋转，形成密闭腔室，逐步压缩气体并排出，全程无油接触，实现洁净真空。

• 创新螺杆技术：

• 双端轴支撑：非悬臂设计，转子支撑稳固，振动极低、启动可靠，耐受粉尘 / 液体冲击（可处理 5L 水或 1kg 细粉）。

• 渐变压缩转子：优化热管理，降低排气温度，适应长时间连续运行。

• 优良轴封技术：非接触式长效密封 + 阻油迷宫，隔离齿轮箱与真空腔，零油污染、免频繁更换密封件。

• 智能控制系统：

• 板载智能控制器，支持自动启停、省电模式（AUC）、自清洁、远程监控。

• 标配 RS-485/Modbus 通信，可接入工厂 MES 系统，实时监控压力 / 温度 / 运行状态。

四、核心优势

1. 无油洁净，无污染：全程干式无油，真空腔无油蒸气，杜绝油污染产品，符合半导体 / 锂电高洁净要求。

2. 高真空高抽速，效率：极限真空 5×10⁻⁴ mbar，抽速覆盖 160–750 m³/h，抽气速度快、生产周期短。

3. 耐粉尘耐腐蚀，坚固耐用：镍涂层转子 + 防腐蚀材质，耐受酸碱 / 粉尘 / 水汽，恶劣工况寿命延长 5 倍；双端支撑设计，振动小、故障少。

4. 低噪音低振动，环境友好：运行噪声≤72 dB (A)，振动低，适合洁净车间 / 敏感环境。

5. 长周期维护，成本低：油润滑齿轮箱（免油脂），轴承寿命长，保养周期≥8000 小时，综合运维成本降低 40%。

6. 智能灵活，易集成：智能控制 + 丰富通信接口，支持远程监控 / 自动制程；紧凑型设计，安装便捷，可单机或组合成真空系统。

五、典型应用

• 半导体：刻蚀、PECVD、ALD、光刻胶去除，监控微量腐蚀气体与粉尘。

• 锂电池：电极真空干燥、注液、封装，高真空去除水分，提升电池一致性与寿命。

• 光伏：硅片扩散、PECVD、层压，大腔体快速抽气，稳定制程真空度。

• 真空镀膜：PVD/CVD/ 光学镀膜，无油污染保障膜层质量，低振动提升镀膜均匀性。

• 化工 / 制药：蒸馏、结晶、干燥，处理腐蚀性 / 溶剂蒸气，安全环保。