HORIBA/堀场 光纤式热磷酸浓度监测仪
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、核心定位

• 应用场景：半导体 FEOL/BEOL 湿法（清洗、蚀刻、光刻），尤其低浓度功能水、热磷酸等监测。

• 监测对象：低浓度 NH₃、SC-1、热磷酸等，ppm 级浓度变化实时测量。

• 核心价值：中紫外光谱、非接触光纤传输、多参数兼容，保障低浓度药液稳定供应与制程良率。

二、工作原理

• 测量原理：中紫外吸收光谱（LED 光源），检测传统波长难以测量的成分。

• 检测方式：光纤分体式设计，光源 / 主机与传感头分离，传感头夹装管道外壁，非接触药液。

• 浓度计算：温度补偿算法，抗温度干扰，实时输出浓度值。

三、关键参数

四、核心优势

1. 中紫外高精度，ppm 级低浓度：中紫外波长测量，解决传统机型低浓度精度不足问题，适配ppb/ppm 级药液监控。

2. 光纤分体，自由布局：光源与传感头分离，主机远离高温 / 腐蚀环境，适配设备紧凑空间，安装灵活。

3. 多药液兼容，一机多用：单台最多测量6 种化学品，覆盖低浓度湿法主流药液，降低设备成本。

4. 非接触无污染，安全可靠：传感头仅夹装管道外壁，不接触药液，无析出、无泄漏风险，保障高纯药液品质。

5. 低维护，长寿命：LED 光源稳定，长期无需更换，维护成本低。

五、典型应用

• 半导体清洗：低浓度 SC-1/SC-2、NH₃等清洗液浓度实时监控。

• 蚀刻制程：热磷酸浓度监测（铝蚀刻等工艺）。

• 功能水管理：半导体厂低浓度功能水（如臭氧水、双氧水）浓度控制。